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本发明适用于高温氧化炉领域，提供了一种用于1350℃高温氧化炉加热炉体，包括炉体底板，炉体底板的顶部安装有水冷隔热底板，水冷隔热底板的顶部安装有强固高温把口环，强固高温把口环的顶部安装有炉丝固定层，强固高温把口环与水冷隔热底板通过不锈钢环套...
该专利属于潍坊芯微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过潍坊芯微电子设备有限公司授权不得商用。

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