【技术实现步骤摘要】
本技术涉及感应炉,尤其是一种多晶硅冶炼感应炉。
技术介绍
1、多晶硅的冶炼提纯一般都需用到感应炉,现有的感应炉的炉体大多为一个整体,感应线圈与炉体长期处于高温环境易结垢氧化,但两者之间的空间较小,清洁及维护检修较为不便。
技术实现思路
1、为解决上述问题,本技术提供如下技术方案:
2、一种多晶硅冶炼感应炉,包括圆形的炉底座,所述炉底座上设有沿轴向被平均分割为多瓣的炉壁,每瓣炉壁均与炉底座转动连接,相邻两瓣炉壁的顶部接缝处开有插槽,所述插槽内插装有插销块,所述炉壁内设有导电的坩埚,所述坩埚与炉壁之间设有感应线圈,所述炉壁上开有导线孔。
3、进一步地,所述炉底座上设有坩埚支撑座,所述坩埚支撑座上开有定位凹槽。
4、进一步地,所述炉壁平均分割为三瓣,且每瓣炉壁均为中空设计。
5、进一步地,所述感应线圈的外侧设有线圈支架。
6、进一步地,所述感应线圈为一种中频感应线圈。
7、进一步地,所述坩埚为一种高纯石墨坩埚。
...
【技术保护点】
1.一种多晶硅冶炼感应炉,其特征在于,包括圆形的炉底座(1),所述炉底座(1)上设有沿轴向被平均分割为多瓣的炉壁(2),每瓣炉壁(2)均与炉底座(1)转动连接,相邻两瓣炉壁(2)的顶部接缝处开有插槽(21),所述插槽(21)内插装有插销块(3),所述炉壁(2)内设有导电的坩埚(4),所述坩埚(4)与炉壁(2)之间设有感应线圈(5),所述炉壁(2)上开有导线孔(22)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅冶炼感应炉,其特征在于,所述炉底座(1)上设有坩埚支撑座(7),所述坩埚支撑座(7)上开有定位凹槽。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅冶炼感应
...【技术特征摘要】
1.一种多晶硅冶炼感应炉,其特征在于,包括圆形的炉底座(1),所述炉底座(1)上设有沿轴向被平均分割为多瓣的炉壁(2),每瓣炉壁(2)均与炉底座(1)转动连接,相邻两瓣炉壁(2)的顶部接缝处开有插槽(21),所述插槽(21)内插装有插销块(3),所述炉壁(2)内设有导电的坩埚(4),所述坩埚(4)与炉壁(2)之间设有感应线圈(5),所述炉壁(2)上开有导线孔(22)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅冶炼感应炉,其特征在于,所述炉底座(1)上设有坩埚支撑座(7),所述坩埚支...
【专利技术属性】
技术研发人员:缪志刚,戴鹏宇,李光彩,冯志国,
申请(专利权)人:三鑫特材常州股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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