一种多晶硅冶炼感应炉制造技术

技术编号:41709522 阅读:49 留言:0更新日期:2024-06-19 12:39
本技术公开了一种多晶硅冶炼感应炉,涉及感应炉技术领域,包括圆形的炉底座,炉底座上设有沿轴向被平均分割为多瓣的炉壁,每瓣炉壁均与炉底座转动连接,相邻两瓣炉壁的顶部接缝处开有插槽,插槽内插装有插销块,炉壁内设有导电的坩埚,坩埚与炉壁之间设有感应线圈,炉壁上开有导线孔;该感应炉通过设置可分瓣展开的炉壁,提高了坩埚装卸及炉体检修维护的便利性,也可使炉体需要降温时加快散热。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及感应炉,尤其是一种多晶硅冶炼感应炉


技术介绍

1、多晶硅的冶炼提纯一般都需用到感应炉,现有的感应炉的炉体大多为一个整体,感应线圈与炉体长期处于高温环境易结垢氧化,但两者之间的空间较小,清洁及维护检修较为不便。


技术实现思路

1、为解决上述问题,本技术提供如下技术方案:

2、一种多晶硅冶炼感应炉,包括圆形的炉底座,所述炉底座上设有沿轴向被平均分割为多瓣的炉壁,每瓣炉壁均与炉底座转动连接,相邻两瓣炉壁的顶部接缝处开有插槽,所述插槽内插装有插销块,所述炉壁内设有导电的坩埚,所述坩埚与炉壁之间设有感应线圈,所述炉壁上开有导线孔。

3、进一步地,所述炉底座上设有坩埚支撑座,所述坩埚支撑座上开有定位凹槽。

4、进一步地,所述炉壁平均分割为三瓣,且每瓣炉壁均为中空设计。

5、进一步地,所述感应线圈的外侧设有线圈支架。

6、进一步地,所述感应线圈为一种中频感应线圈。

7、进一步地,所述坩埚为一种高纯石墨坩埚。

8、本技术的有益效果本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多晶硅冶炼感应炉,其特征在于,包括圆形的炉底座(1),所述炉底座(1)上设有沿轴向被平均分割为多瓣的炉壁(2),每瓣炉壁(2)均与炉底座(1)转动连接,相邻两瓣炉壁(2)的顶部接缝处开有插槽(21),所述插槽(21)内插装有插销块(3),所述炉壁(2)内设有导电的坩埚(4),所述坩埚(4)与炉壁(2)之间设有感应线圈(5),所述炉壁(2)上开有导线孔(22)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅冶炼感应炉,其特征在于,所述炉底座(1)上设有坩埚支撑座(7),所述坩埚支撑座(7)上开有定位凹槽。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅冶炼感应炉,其特征在于,所述...

【技术特征摘要】

1.一种多晶硅冶炼感应炉,其特征在于,包括圆形的炉底座(1),所述炉底座(1)上设有沿轴向被平均分割为多瓣的炉壁(2),每瓣炉壁(2)均与炉底座(1)转动连接,相邻两瓣炉壁(2)的顶部接缝处开有插槽(21),所述插槽(21)内插装有插销块(3),所述炉壁(2)内设有导电的坩埚(4),所述坩埚(4)与炉壁(2)之间设有感应线圈(5),所述炉壁(2)上开有导线孔(22)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅冶炼感应炉,其特征在于,所述炉底座(1)上设有坩埚支撑座(7),所述坩埚支...

【专利技术属性】
技术研发人员:缪志刚戴鹏宇李光彩冯志国
申请(专利权)人:三鑫特材常州股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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