半导体生产机台监测方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸

本申请提供半导体生产机台监测方法、装置、设备及存储介质，涉及半导体制造技术领域。主要是由EAP集群中的任一节点中的主机端定时获取当前更新后的机台信息集合以及节点信息集合，再结合当前更新后的机台信息集合以及节点信息集合，监测当前是否存在待分配机台，从而实现了对EAP集群中所有机台与每一个节点的监控，解决了现有技术中由于keepalived无法实现业务级监控导致存在服务宕机判断比较困难的问题；同时，并确定与待分配机台待连接的绑定节点，并主动触发待分配机台与绑定节点进行绑定，提高了EAP的可用性、稳定性和可维护性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体制造，具体而言，涉及一种半导体生产机台监测方法、装置、设备及存储介质。

技术介绍

1、在半导体制造中，设备自动化系统(equipment automation program，简称eap)是一种用于控制半导体制造设备进行自动化生产的系统，与制造执行系统(manufacturingexecution system，简称mes)整合，校验产品信息，自动做账，同时收集产品生产过程中的制程数据和设备参数数据，帮助提高半导体工厂的生产效率，避免人工操作失误，提高产品良率。它向上通过接口与mes集成，向下使用半导体设备及材料国际协会(semiconductorequipment and materials international，简称semi)标准中的一组半导体行业通信标准半导体设备通信标准/通用设备模型(semiconductor equipment communicationstandard/generic equipment model，简称secs/gem)来管理制造设备和服务器之间的通信。

2、目前，采用主流的高可用方式是通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体生产机台监测方法，其特征在于，应用于设备自动化系统集群中的任一节点中的主机端，所述节点包括：所述主机端和应用端，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述机台信息集合与所述节点信息集合，确定至少一个待分配机台，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述机台信息集合与所述节点信息集合，确定离线节点，包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定与各所述待分配机台待连接的绑定节点，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定与各所述待分配机台待连接的绑定节点...

【技术特征摘要】

1.一种半导体生产机台监测方法，其特征在于，应用于设备自动化系统集群中的任一节点中的主机端，所述节点包括：所述主机端和应用端，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述机台信息集合与所述节点信息集合，确定至少一个待分配机台，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述机台信息集合与所述节点信息集合，确定离线节点，包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定与各所述待分配机台待连接的绑定节点，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定与各所述待分配机台待连接的绑定节点，包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：任雨涛，成文涛，邱元海，杨连东，
申请(专利权)人：甬矽半导体宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：