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本申请提供半导体生产机台监测方法、装置、设备及存储介质，涉及半导体制造技术领域。主要是由EAP集群中的任一节点中的主机端定时获取当前更新后的机台信息集合以及节点信息集合，再结合当前更新后的机台信息集合以及节点信息集合，监测当前是否存在待分配...
该专利属于甬矽半导体（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过甬矽半导体（宁波）有限公司授权不得商用。

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