一种基于可调制弱值放大技术的应力检测系统及应力检测方法技术方案

本发明专利技术涉及一种基于可调制弱值放大技术的应力检测系统，包括依次排布在光路系统中的光调制模块、光信息采集单元和应力处理器；光调制模块将宽谱的初始入射光调制为检测入射光，该检测入射光的平均波长偏移量处于平均波长偏移量Δλ‑时间延迟τ变化曲线的线性工作区间R<subgt;i</subgt;内，根据测量耦合样品应力的检测入射光的平均波长偏移量Δλ<subgt;C</subgt;获得待测样品应力ΔS，实现对双折射应力的高精度、高灵敏度的检测，特别是实现了一定应力范围内的的超高灵敏检测。该检测系统具有高精度、高灵敏度等优点，在晶元制造领域的微应力检测方面具有重要应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及量子光学应用，尤其涉及一种基于可调制弱值放大技术的应力检测系统及应力检测方法。

技术介绍

1、光学玻璃是具有高度均质性的玻璃，是光学元器件的重要组成部分。光学玻璃的加工成型质量对玻璃光学元器件的质量产生重要影响，尤其是光学玻璃加工工艺中的残余应力对玻璃光学元器件的性能稳定性和寿命产生重要影响，不均匀的应力分布会降低玻璃光学元器件的光学均匀性，导致应力双折射，增加光路偏差和损伤风险。因此，分析光学玻璃成型加工过程的应力状态，可为玻璃光学元器件加工控制及后期使用带来积极的影响。

2、在进行微小尺度结构的超精密加工中，残余应力成为影响产品质量的关键因素，因此，高精度、高灵敏度测量残余应力是提升产品加工质量与产品性能的关键手段。现有应力检测方法主要有无损检测和有损检测两大类，其中，无损检测包括x射线衍射法、超声波法、拉曼光谱法、数字光弹性法、磁光调制法等。上述方法在运用到光学玻璃应力检测上时分别存在不同的问题：x射线衍射法受晶粒大小、各向异性和深度方向应力梯度影响，测量精度只有mpa量级；超声波法的检测精度远低于光弹性法；拉曼光谱法只适用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于可调制弱值放大技术的应力检测系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的应力检测系统，其特征在于，所述光调制模块包括：

3.根据权利要求2所述的应力检测系统，其特征在于，所述光调制模块还包括：

4.一种基于可调弱值放大技术的应力检测方法，其特征在于，包括：

5.根据权利要求4所述的应力检测方法，其特征在于，对所述初始入射光调制包括以下步骤：

6.根据权利要求5所述的应力检测方法，其特征在于，对所述初始入射光进行预偏振调节前还包括以下步骤：

7.根据权利要求4-6任一项所述的应力检测方法，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种基于可调制弱值放大技术的应力检测系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的应力检测系统，其特征在于，所述光调制模块包括：

3.根据权利要求2所述的应力检测系统，其特征在于，所述光调制模块还包括：

4.一种基于可调弱值放大技术的应力检测方法，其特征在于，包括：

5.根据权利要求4所述的应力检测方法，其特征在于，对所述初始入射光调制包括以下步骤：

6.根据权利要求5所述的应力检测方法，其特征在于，对所述初始入射光进行预偏振调节前还包括以下步骤：

7.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：张庆茂，孙万寿，於亚飞，卢文轩，王金东，郭亮，
申请(专利权)人：华南师范大学，
类型：发明
国别省市：