【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路测试领域,尤其涉及一种集成电路测试探针卡装置及方法。
技术介绍
1、晶圆测试是集成电路测试的一道重要工序,但是在实际测试中,由于晶圆的异常,或者探针卡的针尖变形损坏,导致晶圆在测试过程中可能出现探针损坏晶圆;而传统晶圆检测在工艺上的滞后,导致测试过程中晶圆可能出现大批量损坏。
2、如何在测试过程中及时检测晶圆状态,有效避免晶圆的批量损坏以及检测到晶圆的部分缺陷,已经成为集成电路晶圆测试的一个重要方向。
技术实现思路
1、本专利技术实施例的目的是提供一种集成电路测试探针卡装置及方法,以解决现有技术中,集成电路测试中不能及时检测晶圆状态,导致测试中批量损坏和缺陷的问题。
2、为解决上述技术问题,本专利技术实施例是这样实现的:
3、第一方面,本专利技术实施例提供的一种集成电路测试探针卡装置,所述装置包括视觉检测单元和控制模块,其中:
4、所述视觉检测单元位于所述装置的探针卡电路板上,与待测芯片相邻的一侧,所述视觉检测单元用于获
...【技术保护点】
1.一种集成电路测试探针卡装置,其特征在于,包括视觉检测单元和控制模块,其中:
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置还包括视觉处理单元,所述视觉检测单元通过所述视觉处理单元和所述控制模块相连。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述视觉检测单元包括摄像头模组、光源和图像处理单元,所述摄像头模组与所述图像处理单元相连,所述图像处理单元与所述视觉处理单元相连,所述图像处理单元用于将所述摄像头模组采集到的所述测试过的芯片的图像数据发送给所述视觉处理单元。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述视觉检测单元还用
...【技术特征摘要】
1.一种集成电路测试探针卡装置,其特征在于,包括视觉检测单元和控制模块,其中:
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置还包括视觉处理单元,所述视觉检测单元通过所述视觉处理单元和所述控制模块相连。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述视觉检测单元包括摄像头模组、光源和图像处理单元,所述摄像头模组与所述图像处理单元相连,所述图像处理单元与所述视觉处理单元相连,所述图像处理单元用于将所述摄像头模组采集到的所述测试过的芯片的图...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈海兵,
申请(专利权)人:连芯电子科技苏州有限公司,
类型:发明
国别省市:
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