下载一种集成电路测试探针卡装置及方法的技术资料

文档序号:41560869

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本发明公开了一种集成电路测试探针卡装置及方法,所述装置包括视觉检测单元和控制模块,其中:所述视觉检测单元位于所述集成电路测试探针卡装置的探针卡电路板上,与待测芯片相邻的一侧,所述视觉检测单元用于获取通过所述集成电路测试探针卡装置的探针卡测试...
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