一种半导体硅片抛光机制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体硅片抛光机，涉及到半导体硅片抛光机领域，包括工作台，所述工作台的上端固定设置有U形架，所述U形架的内部设置有横板，所述横板的左右两端均通过导向机构分别与U形架的左右两个内侧壁竖直滑动连接，所述U形架的上内侧壁固定设置有两个竖直设置的电动推杆，两个电动推杆左右对称分布，且两个电动推杆的下端均与横板的上侧固定连接，所述横板的上侧中部开设有放置口，所述放置口中设置有夹持机构。本发明专利技术能够依次对半导体硅片的上下两个表面进行抛光加工，不需要对半导体硅片进行重复装夹，提高加工效率，且一次装夹完成两面抛光，能够使半导体硅片的上下表面保持平行，提高加工质量，便于人们使。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体硅片抛光机，具体为一种半导体硅片抛光机。

技术介绍

1、半导体(semiconductor)，指常温下导电性能介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。

2、目前，人们经常会采用半导体材料进行制造硅片，而半导体硅片在生产制造时，需要对其表面进行抛光加工，现有技术中，在使用抛光机对半导体硅片进行抛光时，需要依次对半导体硅片的正反两面依次进行抛光加工，而这样操作，需要在对半导体硅片的其中一面抛光完毕后，进行翻转，然后再次对另一面进行抛光加工，就需要对半导体硅片进行拆卸和重新装夹，需要花费更多的时间，影响加工效率，且在重新装夹时，容易导致装夹发生倾斜，从而导致半导体硅片的正反两面在抛光后发生倾斜，影响加工质量，因此提出一种半导体硅片抛光机。

技术实现思路

1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供一种半导体硅片抛光机，有效的解决了目前在使用抛光机对半导体硅片进行抛光时，需要依次对半导体硅片的正反本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体硅片抛光机，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的上端固定设置有U形架(2)，所述U形架(2)的内部设置有横板(3)，所述横板(3)的左右两端均通过导向机构分别与U形架(2)的左右两个内侧壁竖直滑动连接，所述U形架(2)的上内侧壁固定设置有两个竖直设置的电动推杆(26)，两个电动推杆(26)左右对称分布，且两个电动推杆(26)的下端均与横板(3)的上侧固定连接，所述横板(3)的上侧中部开设有放置口，所述放置口中设置有夹持机构；

2.根据权利要求1所述的一种半导体硅片抛光机，其特征在于：所述导向机构包括两组导向滑块(7)，两组所述导向滑块(7)分别固定固...

【技术特征摘要】

1.一种半导体硅片抛光机，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的上端固定设置有u形架(2)，所述u形架(2)的内部设置有横板(3)，所述横板(3)的左右两端均通过导向机构分别与u形架(2)的左右两个内侧壁竖直滑动连接，所述u形架(2)的上内侧壁固定设置有两个竖直设置的电动推杆(26)，两个电动推杆(26)左右对称分布，且两个电动推杆(26)的下端均与横板(3)的上侧固定连接，所述横板(3)的上侧中部开设有放置口，所述放置口中设置有夹持机构；

2.根据权利要求1所述的一种半导体硅片抛光机，其特征在于：所述导向机构包括两组导向滑块(7)，两组所述导向滑块(7)分别固定固定设置在横板(3)的左右两端，所述u形架(2)的左右两个内侧壁均开设有一组竖直设置的导向滑槽，两组所述导向滑块(7)分别滑动设置在两组导向滑槽中。

3.根据权利要求2所述的一种半导体硅片抛光机，其特征在于：每组所述导向滑块(7)设置为两个，每组所述导向滑槽设置为两个，每组两个导向滑槽前后对称分布。

4.根据权利要求3所述的一种半导体硅片抛光机，其特征在于：所述夹持机构包括两个弧形夹持板(8)、两个双向螺纹杆(9)、两个蜗轮(10)和蜗杆(11)，两个所述弧形夹持板(8)均纵向设置在放置口中并左右对称分布，两个所述双向螺纹杆(9)均横向设置在放置口中并前后对称分布，每个所述双向螺纹杆(9)的杆壁两端分别与两个弧形夹持板(8)的侧壁螺纹插接，每个所述双向螺纹杆(9)的两端均通过第一轴承分别与放置口的左右两侧转动连接，所述横板(3)的内部还开设有空腔，所述空腔位于放置口的右方，两个所述双向螺纹杆(9)的右端均延伸至空腔中并分别与两个蜗轮(10)固定连接，所述蜗杆(11)纵向设置空腔中并同时与两个蜗轮(10)啮合连接，所述蜗杆(11)的前后两端均通过第二轴承分别与空腔的前后两侧转动连接，且蜗杆(11)的前端延伸至横板(3)的前侧并固定连接有旋钮(12)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈娇凤，陈有鸿，
申请(专利权)人：宿州聚磊光电有限公司，
类型：发明
国别省市：