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一种半导体硅片抛光机制造技术
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下载一种半导体硅片抛光机的技术资料
文档序号:41537906
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本发明公开了一种半导体硅片抛光机,涉及到半导体硅片抛光机领域,包括工作台,所述工作台的上端固定设置有U形架,所述U形架的内部设置有横板,所述横板的左右两端均通过导向机构分别与U形架的左右两个内侧壁竖直滑动连接,所述U形架的上内侧壁固定设置有...
该专利属于宿州聚磊光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宿州聚磊光电有限公司授权不得商用。
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