【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于平面靶材制造领域，具体为一种平面靶材背板吊装工装。
技术介绍
1、在制作平面靶材过程中，需要将平面靶材背板安装到车床上进行两面的加工，对于一些大尺寸的平面靶材组件背板，重量会非常重，对于一名工人来说，单人操作将平面靶材组件背板安装到车床上就会非常困难。
2、cn202220825669.4公开了一种lcd平面靶材组件的吊装装置，包括吊装固定板并在其相对两端分别设置至少两组与lcd平面靶材组件相对应的螺纹孔。在实际使用过程中，将至少两个lcd平面靶材组件背板朝下放置在吊装固定板上，利用螺栓将lcd平面靶材组件背板上的螺纹孔与吊装固定板上的螺纹孔固定连接。
3、上述的技术方案中，在固定平面靶材组件背板时，需要用到螺栓来将平面靶材组件背板进行固定，但是这样的固定方式，在拆卸或安装平面靶材组件背板的时候均需要用到专用的工具才能完成平面靶材组件背板的固定和拆卸，导致在拆卸或固定时候就非常麻烦和耗费时间，效率低，而且当平面靶材组件背板没有螺纹孔的时候，就不能完成对平面靶材组件背板的固定；
4、并且当...
【技术保护点】
1.一种平面靶材背板吊装工装，包括吊装板，其特征在于，还包括顶紧机构，所述吊装板的一侧设有通孔和多个密封槽，所述密封槽为环绕通孔布置的封闭形状，所述密封槽用于与外设密封条连接以形成吸附平面靶材背板的吸附部，所述通孔用于使吸附部形成真空腔，所述吊装板的外边缘处还设有挡板，最内侧的所述密封槽的中心位于吊装板中心和挡板之间，所述顶紧机构用于将吸附中的平面靶材背板顶紧在挡板的内侧。
2.根据权利要求1所述的一种平面靶材背板吊装工装，其特征在于，所述通孔中心位于最内侧密封槽中心处。
3.根据权利要求1所述的一种平面靶材背板吊装工装，其特征在于，所述吊装板...
【技术特征摘要】
1.一种平面靶材背板吊装工装，包括吊装板，其特征在于，还包括顶紧机构，所述吊装板的一侧设有通孔和多个密封槽，所述密封槽为环绕通孔布置的封闭形状，所述密封槽用于与外设密封条连接以形成吸附平面靶材背板的吸附部，所述通孔用于使吸附部形成真空腔，所述吊装板的外边缘处还设有挡板，最内侧的所述密封槽的中心位于吊装板中心和挡板之间，所述顶紧机构用于将吸附中的平面靶材背板顶紧在挡板的内侧。
2.根据权利要求1所述的一种平面靶材背板吊装工装，其特征在于，所述通孔中心位于最内侧密封槽中心处。
3.根据权利要求1所述的一种平面靶材背板吊装工装，其特征在于，所述吊装板为圆形结构，最内侧的所述密封槽的中心与吊装板中心的距离为0.5～0.9倍吊装板的半径。
4.根据权利要求1所述的一种平面靶材背板吊装工装，其特征在于，所述密封槽包括第一槽体、多个第二槽体，所述多个第二槽体的两端均与第一槽体的两端连通，所述多个第二槽体之间间隔布置。
5.根据权利要求1所述的一种平面靶材背板吊装工装，其特征在于，所述吊装板还设有引流槽，所述引流槽与密封槽设于同一侧面上...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘铭枫，黄宇彬，童培云，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：
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