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本发明属于平面靶材制造领域，提供了一种平面靶材背板吊装工装，包括吊装板、顶紧机构，吊装板的一侧设有通孔和多个密封槽，密封槽为环绕通孔布置的封闭形状，密封槽用于与外设密封条连接以形成吸附平面靶材背板的吸附部，通孔用于使吸附部形成真空腔，吊装板...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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