一种旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具制造技术

本发明专利技术涉及旋转靶材技术领域，具体公开了一种旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具，包括可开合的第一遮挡件和第二遮挡件，第一遮挡件和第二遮挡件的一侧铰接，另一侧通过连接组件可拆卸固定，当第一遮挡件和第二遮挡件扣合后形成筒体结构，喷砂时，第一遮挡件和第二遮挡件围成的筒体结构即可套设于旋转靶材的非喷砂区域外，用以阻挡喷枪喷出的砂砾，对旋转靶材的非喷砂区域起到防护的作用。该旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具可以在喷砂处理时遮挡旋转靶材的非喷砂区域，并且结构简单，拆装效率较高，有利于实现规模化生产。此外该旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具也可以多次重复使用，节约材料和成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及旋转靶材，尤其涉及一种旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具。

技术介绍

1、旋转靶材一般包括溅射部、法兰和端盖，其中法兰设置在溅射部的一端，用于与溅射机台的旋转基座固定，端盖设置在溅射部的另一端并能够封堵溅射部的端口。旋转靶材设有法兰的一侧设有开口，溅射部的内部中空。在进行溅射时，从旋转靶材的开口将磁铁放入溅射部内，磁铁在溅射部内可以做特定轨迹的运动。另外，在旋转靶材设置开口的一侧还需要向溅射部内通入冷却水进行冷却。

2、旋转靶材的法兰与溅射机台的旋转基座通过螺栓锁定形成刚性连接(如图1所示，每根旋转靶材连接一个旋转基座)，从而旋转基座能够带动旋转靶材做周而复始的旋转。具体地，通过天车吊装可以将旋转靶材的端盖吊起，并将旋转靶材的法兰朝下对准旋转基座的位置，然后工程师将对应的螺栓分别旋进法兰上的螺纹孔和旋转基座上的螺纹孔进行固定。并且为了使旋转靶材的内部为一封闭腔室，法兰与旋转基座之间设有密封圈，从而防止冷却水从法兰与旋转基座之间的空隙溢出。当旋转靶材安装到位后，在溅射机台内旋转靶材一侧设置的阳极棒与旋转靶材之间具有电压差，该电压差将会电离本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具，用于在喷砂处理时遮挡旋转靶材(10)的非喷砂区域，其特征在于，所述旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具包括：

2.根据权利要求1所述的旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具，其特征在于，所述连接组件包括：

3.根据权利要求1所述的旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具，其特征在于，所述连接组件包括：

4.根据权利要求1所述的旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具，其特征在于，所述防护件(300)为一体结构，所述防护件(300)设置为圆筒状并套设于所述旋转靶材(10)的非喷砂区域外，所述防护件(300)的侧壁上设有嵌合接口(310)，所述嵌合接口(310...

【技术特征摘要】

1.一种旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具，用于在喷砂处理时遮挡旋转靶材(10)的非喷砂区域，其特征在于，所述旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具包括：

2.根据权利要求1所述的旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具，其特征在于，所述连接组件包括：

3.根据权利要求1所述的旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具，其特征在于，所述连接组件包括：

4.根据权利要求1所述的旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具，其特征在于，所述防护件(300)为一体结构，所述防护件(300)设置为圆筒状并套设于所述旋转靶材(10)的非喷砂区域外，所述防护件(300)的侧壁上设有嵌合接口(310)，所述嵌合接口(310)沿所述防护件(300)的长度方向延伸。

5.根据权利要求4所述的旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具，其特征在于，所述嵌合接口(310)的横截面呈折线形，所述嵌合接口(310)包括至少两个密封面(311)。

6.根据权利要求4所述的旋转靶材非喷砂区域的遮蔽护具，其特征在于，所述防护件(300)与所述第一遮挡件(100)、所述第二遮挡件(200)分体设置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，丁向前，王青松，
申请(专利权)人：武汉江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：