【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及相位测量，尤其涉及一种波前相位检测系统及波前相位检测方法。
技术介绍
1、波前相位检测系统的诊断精度非常重要。在实际工况中，由于光强的不均匀性、掩模板微孔形貌（圆孔、方孔、十字孔）和缺陷（不规则间隔的孔、弯曲的孔板）、检测器的信噪比和光子相应误差以及系统装配误差等因素，很难精确获得微孔焦点的质点信息。
2、因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供一种波前相位检测系统及波前相位检测方法，旨在解决现有技术中采用传统的微孔阵列结构难以获得微孔焦点的质点信息导致系统对于光波的检测精度较低的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供一种波前相位检测系统，所述波前相位检测系统包括相对设置的编码光栅器件和探测器，在所述编码光栅器件背离所述探测器的一侧具有波前相位；所述编码光栅器件包括衬底和设于所述衬底上的多组编码结构，所述衬底用于阻挡光波，且所述编码结构用于透过光波；当所述波前相位产生的畸变为波前相位畸变时，所述编码结构阻挡...
【技术保护点】
1.一种波前相位检测系统，其特征在于，所述波前相位检测系统包括相对设置的编码光栅器件和探测器，在所述编码光栅器件背离所述探测器的一侧具有波前相位；
2.根据权利要求1所述的波前相位检测系统，其特征在于，所述编码结构设有多组，且每组所述编码结构包括多个随机编码子单元，所述随机编码子单元能够阻挡光波，使得所述折射光波在每组所述编码结构中的多个随机编码子单元的阻挡下被所述探测器完整探测到。
3.根据权利要求2所述的波前相位检测系统，其特征在于，所述随机编码子单元呈方形或圆形，所述随机编码子单元的中心轴线在1微米至20微米范围内；
4.根据...
【技术特征摘要】
1.一种波前相位检测系统，其特征在于，所述波前相位检测系统包括相对设置的编码光栅器件和探测器，在所述编码光栅器件背离所述探测器的一侧具有波前相位；
2.根据权利要求1所述的波前相位检测系统，其特征在于，所述编码结构设有多组，且每组所述编码结构包括多个随机编码子单元，所述随机编码子单元能够阻挡光波，使得所述折射光波在每组所述编码结构中的多个随机编码子单元的阻挡下被所述探测器完整探测到。
3.根据权利要求2所述的波前相位检测系统，其特征在于，所述随机编码子单元呈方形或圆形，所述随机编码子单元的中心轴线在1微米至20微米范围内；
4.根据权利要求3所述的波前相位检测系统，其特征在于，每组所述编码结构中的所述随机编码子单元的数量在10个至100个范围内，每组所述编码结构中的多个所述随机编码子单元的面积与所述编码结构所形成方形面积的比值在0.3至0.8范围内；...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜杨，
申请(专利权)人：深圳综合粒子设施研究院，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。