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一种波前相位检测系统及波前相位检测方法技术方案
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文档序号:41526306
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本发明公开了一种波前相位检测系统及波前相位检测方法,所述波前相位检测系统包括相对设置的编码光栅器件和探测器,在所述编码光栅器件背离所述探测器的一侧具有波前相位;所述编码光栅器件包括衬底和设于所述衬底上的多组编码结构,所述衬底用于阻挡光波,且...
该专利属于深圳综合粒子设施研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳综合粒子设施研究院授权不得商用。
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