一种密齿立式石英舟制造技术

本技术涉及材料制造技术领域，且公开了一种密齿立式石英舟，包括主体，所述主体的内部开设有第一预留槽，所述第一预留槽的内壁开设有多组限位槽，所述主体的内部均设置有隔离机构。该种密齿立式石英舟，对主体内部空间进行分区时，首先，将隔板放置于第一预留槽的内壁，使得隔板一侧固定连接的卡块滑动到限位槽的内壁，通过限位板上端开设的斜面使得限位板沿着限位槽的内壁进行水平移动，使得弹簧压缩，该结构的设置，有效避免了石英舟无法同时对两种溶剂进行盛放的问题，可以达到对石英舟内部进行分区的效果，同时，减少了加工所需的时间，提高了溶剂处理效率，也可以在实际使用的过程中提高石英舟的通用性，也利于石英舟的广泛推广。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及材料制造，具体为一种密齿立式石英舟。

技术介绍

1、石英舟是一种高温陶瓷制品，也称为石英舟晶圆舟、石英晶圆舟、石英玻璃等，石英舟在半导体行业中有着广泛的应用，主要用于芯片制造过程中的高温热处理工艺中，用于燃烧化学蒸发、气相输运、淀积、扩散、蚀刻、退火等工序，石英舟具有高温耐腐蚀性能和良好的化学稳定性，能够承受高温高压环境，而且具有优异的热传导性能和热稳定性，可以保证热处理过程的高精度和高质量，从而获得更好的半导体产品质量。

2、根据申请号为202122132462.7的石英舟，该方案中在石英舟制备锗多晶时，通过尾部内壁面和两侧部内壁面中的至少一个为从底面向开口向外倾斜的斜面，锗会沿着斜面侧面向上膨胀，从而避免石英舟被胀破，此外，冷胀过程不会挤压籽晶，避免籽晶在区熔过程中移动，进而提高了制备的锗多晶的品质。

3、但在实际使用过程中依然存在以下问题：

4、(1)该石英舟，在实际使用的过程中，不能够实现有效的对石英舟内部进行分区，会造成石英舟使用时无法对两种不同的物质进行加工，不能够合理的避免两种物质互相融合，降低了本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种密齿立式石英舟，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)的内部开设有第一预留槽(4)，所述第一预留槽(4)的内壁开设有多组限位槽(5)，所述主体(1)的内部均设置有隔离机构(20)，所述隔离机构(20)中包括弹簧(18)、限位板(19)、卡块(22)、隔板(17)，所述弹簧(18)与主体(1)固定连接，所述弹簧(18)的另一端与限位板(19)固定连接，所述限位板(19)与限位槽(5)滑动连接，所述限位板(19)与卡块(22)抵接，所述卡块(22)与限位槽(5)卡接，所述卡块(22)与隔板(17)固定连接，所述卡块(22)与主体(1)贴合。

2.根据权利要求1所述的一...

【技术特征摘要】

1.一种密齿立式石英舟，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)的内部开设有第一预留槽(4)，所述第一预留槽(4)的内壁开设有多组限位槽(5)，所述主体(1)的内部均设置有隔离机构(20)，所述隔离机构(20)中包括弹簧(18)、限位板(19)、卡块(22)、隔板(17)，所述弹簧(18)与主体(1)固定连接，所述弹簧(18)的另一端与限位板(19)固定连接，所述限位板(19)与限位槽(5)滑动连接，所述限位板(19)与卡块(22)抵接，所述卡块(22)与限位槽(5)卡接，所述卡块(22)与隔板(17)固定连接，所述卡块(22)与主体(1)贴合。

2.根据权利要求1所述的一种密齿立式石英舟，其特征在于：所述主体(1)的下表面开设有第二预留槽(13)，所述第二预留槽(13)的内壁设置有支撑机构(15)，所述支撑机构(15)中包括转动杆(9)、承接板(14)、支架(11)，所述转动杆(9)与主体(1)转动连接，所述承接板(14)与转...

【专利技术属性】
技术研发人员：苗昌银，孔华兵，
申请(专利权)人：连云港亮迪石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：