【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于尾气处理，尤其涉及一种带有自清洁功能的尾气硅粉过滤装置。
技术介绍
1、目前，国内外主流的多晶硅生产技术为改良西门子法，即三氯氢硅(tcs)还原法。具体的实现方法为：将汽化后的三氯氢硅和氢气按照一定的比例通过静态混合器混合后进入还原炉内，在压力为0.55mpa、温度为1050°c～1100°c的条件下发生化学气相沉积反应而得到高纯多晶硅。
2、大型还原炉在生产运行过程中，随着多晶硅棒直径的增长，还原炉内的空间减小，单位体积物料的浓度增加，多晶硅棒间辐射的热量上升，促进气态的三氯氢硅发生热分解反应，即4sihcl3→si+3sicl4+2h2。根据多晶硅棒表面“活性沉积中心”理论，多晶硅棒表面的活性沉积中心数量有限，当反应生成的单质硅的量远远超过活性沉积中心的数量时，反应生成的单质硅无法沉积在多晶硅棒表面而是直接在气相中抱团结核形成小颗粒的硅粉，造成还原炉内浑浊不清的现象出现，这种现象被称为“雾化”。如果还原炉出现“雾化”现象的情况未能得到有效控制，则产生的大量硅粉会沉积在还原炉尾气换热器及尾气管道内，易使尾气换...
【技术保护点】
1.一种带有自清洁功能的尾气硅粉过滤装置，包括两个底板（1），设置在底板（1）顶部的两个支撑板（2），其特征在于，所述支撑板（2）的顶端固定连接有驱动锁定组件（3），所述驱动锁定组件（3）的上方和下方均设有清洁过滤组件（4），该清洁过滤组件（4）用于对含硅粉的尾气进行过滤，两个所述清洁过滤组件（4）之间设有开合传动组件（5），且驱动锁定组件（3）控制开合传动组件（5）工作，通过开合传动组件（5）控制清洁过滤组件（4）相互靠近或远离；
2.根据权利要求1所述的一种带有自清洁功能的尾气硅粉过滤装置，其特征在于，所述清洁过滤组件（4）包括变径管（401），所述变...
【技术特征摘要】
1.一种带有自清洁功能的尾气硅粉过滤装置，包括两个底板（1），设置在底板（1）顶部的两个支撑板（2），其特征在于，所述支撑板（2）的顶端固定连接有驱动锁定组件（3），所述驱动锁定组件（3）的上方和下方均设有清洁过滤组件（4），该清洁过滤组件（4）用于对含硅粉的尾气进行过滤，两个所述清洁过滤组件（4）之间设有开合传动组件（5），且驱动锁定组件（3）控制开合传动组件（5）工作，通过开合传动组件（5）控制清洁过滤组件（4）相互靠近或远离；
2.根据权利要求1所述的一种带有自清洁功能的尾气硅粉过滤装置，其特征在于，所述清洁过滤组件（4）包括变径管（401），所述变径管（401）的内部活动套设有过滤球（402），所述过滤球（402）的两侧设有与变径管（401）固定连接的刷板（403），所述过滤球（402）靠近驱动锁定组件（3）的一侧固定连接有固定轴（404），所述固定轴（404）的外部固定连接有两个限位条（405），且限位条（405）活动套设在限位槽（304）内，所述固定轴（404）上还设有震动组件，所述变径管（401）的外壁固定连接有两个竖板（412）。
3.根据权利要求2所述的一种带有自清洁功能的尾气硅粉过滤装置，其特征在于，所述震动组件包括固定套设在固定轴（404）外部的拨动盘（406），所述拨动盘（406）的外圈阵列设有多个弧形槽，所述拨动盘（406）的两侧设有与变径管（401）的外壁固定连接的定位板（407），所述定位板（407）的内部活动套设有拨动杆（408），所述拨动杆（408）靠近拨动盘（406）的一端设有凸球，且凸球与弧形槽相配合，所述拨动杆（408）的另一端固定连接有挡板（413），所述挡板（413）和定位板（407）之间连接有套设在拨动...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁表年，王钧，武瑾，陈世海，赵鹏飞，马宏亮，
申请(专利权)人：甘肃裕润工程重科有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。