【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻胶生产，具体为一种光刻胶生产用混料装置。
技术介绍
1、光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体，在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料，半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像，在对光刻胶进行生产时，需要用到混料装置将多种原料进行充分混合。
2、但是传统光刻胶生产用混料装置不具备辅助清料组件，由于光刻胶是一种黏性较强的物质，导致在混合完毕排胶的时候，光刻胶易黏附在装置的内壁和搅拌叶片上，且由于搅拌叶片具有一定的倾斜角度，导致黏附光刻胶更加难以被清理，这样不仅会造成光刻胶的浪费，且会增加后期的清理难度，为此，提出一种光刻胶生产用混料装置。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种光刻胶生产用混料装置，以解决上述
技术介绍
中提出的传统光刻胶生产用混料装置不具备辅助清料组件，导致在混合完毕排胶的...
【技术保护点】
1.一种光刻胶生产用混料装置，包括罐体（1），其特征在于：所述罐体（1）上嵌设有固定管（2），所述固定管（2）内转动装设有搅拌轴（3）且搅拌轴（3）的底端延伸至罐体（1）内，所述搅拌轴（3）的表面沿上下方向通过密封轴承依次转动装设有多组对接轴（4），所述对接轴（4）远离搅拌轴（3）的一端固定连接有搅拌叶片（5），所述罐体（1）和搅拌轴（3）上设置有辅助清料组件，所述辅助清料组件包括固定在搅拌轴（3）两侧顶部的支架（14），两组所述支架（14）上滑动设置有移动架（13），所述支架（14）上设置有与移动架（13）配合使用的双重定位结构，所述搅拌轴（3）内竖向开设有通槽，且...
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶生产用混料装置，包括罐体（1），其特征在于：所述罐体（1）上嵌设有固定管（2），所述固定管（2）内转动装设有搅拌轴（3）且搅拌轴（3）的底端延伸至罐体（1）内，所述搅拌轴（3）的表面沿上下方向通过密封轴承依次转动装设有多组对接轴（4），所述对接轴（4）远离搅拌轴（3）的一端固定连接有搅拌叶片（5），所述罐体（1）和搅拌轴（3）上设置有辅助清料组件，所述辅助清料组件包括固定在搅拌轴（3）两侧顶部的支架（14），两组所述支架（14）上滑动设置有移动架（13），所述支架（14）上设置有与移动架（13）配合使用的双重定位结构，所述搅拌轴（3）内竖向开设有通槽，且通槽内竖向插设有立杆（8），所述立杆（8）的顶端固定在移动架（13）的底部，所述立杆（8）上沿上下方向依次固定连接有三组滑动设置在通槽内的圆盘（9），每组所述圆盘（9）的底部均匀固定连接有三组齿板（10），所述对接轴（4）远离搅拌叶片（5）的一端固定连接有辅助齿轮（11）且辅助齿轮（11）和齿板（10）相互靠近的一侧啮合，所述罐体（1）内腔的顶部滑动设置有清理环（28），所述固定管（2）上滑动设置有三角架（29）且三角架（29）的三端固定在清理环（28）的内壁上，所述三角架（29）上均匀开设有三组与搅拌叶片（5）配合使用的放置槽（30），所述放置槽（30）相互靠近的一端开设有与对接轴（4）配合使用的安装槽（31），每组所述放置槽（30）内对称滑动设置有与搅拌叶片（5）配合使用的刮板（32），所述罐体（1）和三角架（29）上设置有与清理环（28）和刮板（32）配合使用的调节结构，所述罐体（1）正面顶部的一侧固定连接有电机（6），所述电机（6）的输出轴和搅拌轴（3）上均固定连接有通过皮带传动连接的皮带轮（7）。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用混料装置，其特征在于：所述双重定位结构包括开设在移动架（13）正面的辅助槽（22），所述支架（14）远离搅拌轴（3）的一端固定连接有固定块（15）且固定块（15）的底部贴合在移动架（13）上，两组所述支架（14）的正面和背面均固定连接有固定架（16），所述固定架（16）相互靠近的一侧纵向转动装设有固定轴（17），所述固定轴（17）相互靠近的一端固定连接有与辅助槽（22）配合使用的驱动架（21），两组所述驱动架（21）呈反向结构，所述固定轴（17）相互远离的一端固定连接有棘轮（18），所述棘轮（18）的左侧啮合有棘爪（19），所述棘爪（19）上固定连接有转动装设在固定架（16）上的转轴，且转轴上固定连接有拉杆（23），每组所述棘爪（19）的左侧沿前后方向依次固定连接有多组第一弹簧（20）且第一弹簧（20）远离棘爪（19）的一端固定在固定架（...
【专利技术属性】
技术研发人员：张英超，徐少智，张静，李玮城，
申请(专利权)人：山东同益光刻胶材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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