【技术实现步骤摘要】
本技术涉及防护装置，尤其是涉及一种下料机台的防护装置。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片上可以加工制作成各种电路元器件结构，使其成为有特定电性功能的集成电路产品。在晶圆搬运/转运过程中，人工操作存在着损伤晶圆的风险，例如刮伤、摩擦、意外碰撞、振动性损伤等，而晶圆搬运机器人进行下料操作时具备精确的操控能力，能够减少这些损伤的风险。
2、目前，在晶圆搬运机器人进料机台进行使用时，晶圆搬运机器人下料时具有一定的活动空间，当工人或者其他物品意外位于机器人的活动空间内部时，会与机器人的运动产生干涉，从而影响晶圆搬运机器人下料动作，甚至引发安全事故。
技术实现思路
1、针对现有技术不足，本技术提供了一种可对机器人料台工作空间进行有效防护的下料机台的防护装置。
2、本技术解决上述技术问题所采用的技术方案为：
3、一种下料机台的防护装置，包括机器人料台和防护板，所述机器人料台位于多个防护板围成的空间内部，所述防护...
【技术保护点】
1.一种下料机台的防护装置，包括机器人料台(1)和防护板(2)，其特征在于：所述机器人料台(1)位于多个防护板(2)围成的空间内部，所述防护板(2)前端表面两侧靠近边缘处上下方皆布设有安装槽(3)，一侧上下方所述安装槽(3)内部皆安装有固定杆一(4)，所述固定杆一(4)表面活动安装有连接杆(6)，另一侧上下方所述安装槽(3)内部皆安装有固定杆二(8)，所述固定杆二(8)表面活动安装有连接块(7)，所述连接杆(6)和连接块(7)之间可拆卸式连接。
2.根据权利要求1所述的下料机台的防护装置，其特征在于：所述防护板(2)前端贯穿布设有观察口(9)，所述观察口(...
【技术特征摘要】
1.一种下料机台的防护装置，包括机器人料台(1)和防护板(2)，其特征在于：所述机器人料台(1)位于多个防护板(2)围成的空间内部，所述防护板(2)前端表面两侧靠近边缘处上下方皆布设有安装槽(3)，一侧上下方所述安装槽(3)内部皆安装有固定杆一(4)，所述固定杆一(4)表面活动安装有连接杆(6)，另一侧上下方所述安装槽(3)内部皆安装有固定杆二(8)，所述固定杆二(8)表面活动安装有连接块(7)，所述连接杆(6)和连接块(7)之间可拆卸式连接。
2.根据权利要求1所述的下料机台的防护装置，其特征在于：所述防护板(2)前端贯穿布设有观察口(9)，所述观察口(9)内部两端皆通过滑动槽滑动连接有挡板(10)，所述挡板(10)前端表面相对侧皆安装有拉板(15)。
3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：旷贤国，
申请(专利权)人：无锡芯运智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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