【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及惯性器件，具体为一种微机械结构以及微机电陀螺仪。
技术介绍
1、微机电陀螺仪是一种能够利用科里奥利效应测量物体运动角速率的惯性器件，主要用于导航定位、姿态感知、状态监测、平台稳定等应用领域。为增强输出信号，提高结构鲁棒性和测量精度，微机电陀螺大多采用多模块差分策略，即相邻模块间反向振动，并将信号相互差分放大。在此策略中，相邻模块间的同向运动是微机电陀螺的干扰运动模式。此外，应力在微机电系统中扮演着举足轻重的作用，应力场的再分布会影响陀螺振动频率等工作参数，与应力伴随的的自由端变形可能造成微机械结构吸附和碰撞，约束端应力也会降低微机械结构材料强度。
2、现有微机电陀螺多采用多模块差分策略，以期增强输出信号，提高结构鲁棒性和测量精度。微机电陀螺多模块中存在相邻运动组件同向运动的干扰模态，会产生信号调理电路无法消除的共模误差，增加陀螺噪声，降低检测精度。同向运动中锚区应力直接传递至周围区域，尤其是弹性梁结构中，这会改变陀螺特征参数，引起微结构吸附和碰撞，降低材料强度。
技术实现思路
1、本本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种微机械结构，其特征在于：包括可固定在外部板体上的锚区、用于隔离所述锚区产生的应力的应力隔离组件以及多组梁，所述锚区固定在所述应力隔离组件上，所述多组梁连接所述应力隔离组件。
2.如权利要求1所述的微机械结构，其特征在于：所述应力隔离组件包括间隔设置的多圈套环，相邻所述套环之间通过至少一个连接点连接，最外圈套环上连接所述多组梁。
3.如权利要求2所述的微机械结构，其特征在于：所述至少一个连接点位于所述应力隔离组件的不同轴对称处。
4.如权利要求2所述的微机械结构，其特征在于：所述锚区固定于所述应力隔离组件的最内圈套环中。>
5.如权利要...
【技术特征摘要】
1.一种微机械结构，其特征在于：包括可固定在外部板体上的锚区、用于隔离所述锚区产生的应力的应力隔离组件以及多组梁，所述锚区固定在所述应力隔离组件上，所述多组梁连接所述应力隔离组件。
2.如权利要求1所述的微机械结构，其特征在于：所述应力隔离组件包括间隔设置的多圈套环，相邻所述套环之间通过至少一个连接点连接，最外圈套环上连接所述多组梁。
3.如权利要求2所述的微机械结构，其特征在于：所述至少一个连接点位于所述应力隔离组件的不同轴对称处。
4.如权利要求2所述的微机械结构，其特征在于：所述锚区固定于所述应力隔离组件的最内圈套环中。
5.如权利要求2所述的微机械结构，其特征在于：所述套环的数...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄晟，蔡喜元，蔡光艳，魏晓莉，贾蔓谷，罗戴钟，丁铮，吴国璋，
申请(专利权)人：武汉衡惯科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
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