下载微机械结构以及微机电陀螺仪的技术资料

文档序号:41488383

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本发明涉及惯性器件技术领域,具体为一种微机械结构,包括可固定在外部板体上的锚区、用于隔离所述锚区产生的应力的应力隔离组件以及多组梁,所述锚区固定在所述应力隔离组件上,所述多组梁连接所述应力隔离组件。还包括一种微机电陀螺仪,包括多组运动组件,...
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