一种氨气充装设备及系统技术方案

本技术涉及一种氨气充装设备及系统，氨气充装设备包括充装模块、过滤模块、氮气吹扫模块、氦气吹扫模块、分析模块、第一回收模块、尾气处理模块和第一泄压模块。其优点在于，设置氮气吹扫模块和氦气吹扫模块分别进行氮气吹扫和氦气吹扫，可以将未被利用和蒸发冷凝的氨气持续补充到相应的管路，提高了氨气的利用效率，同时提高了气体的纯度；设置分析模块、第一回收模块和第二回收模块，在氨气合格的情况下，将氨气进行一级冷凝回收；在氨气不合格的情况下，将氨气进行三级冷凝回收；设置尾气处理模块，对没有完全利用或冷凝的气体进行处理，减少对环境的污染；设置第一泄压模块，防止加热过程中压力突然增大导致爆炸意外，提高系统安全性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体生产，尤其涉及一种氨气充装设备及系统。

技术介绍

1、在半导体工艺中，常用到一些特种气体，例如氨气。根据不同的生产工艺，会采用不同的储存介质储存氨气。常用的储存介质包括槽车、t瓶、钢瓶等。

2、在使用上述储存介质前，需要对储存介质进行特种气体充装。在现有的充装系统中，一般包括以下流程：1)对槽车、t瓶进行加热，以使残留的液态氨转换为气态氨；2)采用直接充装或低真空充装对槽车、t瓶、钢瓶直接进行氨气充装。

3、然而，现有的充装系统存在以下问题：1)在加热过程中，容易出现压力过高的问题，进而容易引发爆炸；2)特种气体源直接对槽车、t瓶、钢瓶进行充装，无法对充装的氨气进行分析，容易出现氨气质量不稳定的问题；3)采用直接充装或低真空充装时，由于充装管道以及压缩机残存空气，导致管道的洁净度差，进而影响充装的氨气质量；4)由于未对氨气进行分析，无法保证充装过程中氨气质量的一致性；5)在充装完毕时，充装管路会残留氨气，直接排放容易造成环境污染。

4、目前针对相关技术中存在的加热压力高导致爆炸、氨气质量不稳定、管道洁净度本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氨气充装设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的氨气充装设备，其特征在于，所述充装模块包括：

3.根据权利要求1所述的氨气充装设备，其特征在于，所述过滤模块包括：

4.根据权利要求1所述的氨气充装设备，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求4所述的氨气充装设备，其特征在于，所述第二泄压模块包括：

6.根据权利要求4～5任一所述的氨气充装设备，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求6所述的氨气充装设备，其特征在于，所述第一负压模块还包括：

8.根据权利要求6所述的氨气充装设备，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种氨气充装设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的氨气充装设备，其特征在于，所述充装模块包括：

3.根据权利要求1所述的氨气充装设备，其特征在于，所述过滤模块包括：

4.根据权利要求1所述的氨气充装设备，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求4所述的氨气充装设备，其特征在于，所述第二泄压模块包括：

【专利技术属性】
技术研发人员：纪雪峰，陈亮，范威威，
申请(专利权)人：上海良薇机电工程有限公司，
类型：新型
国别省市：

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