以LNG为原料制备电子级甲烷的方法及系统技术方案

本发明专利技术提供了一种以LNG为原料制备电子级甲烷的方法及系统。上述方法包括：对LNG进行第一脱重处理脱除大部分金属杂质和重有机组分；粗滤脱除大部分颗粒物得到第二纯化脱杂组分；进行脱轻处理脱除轻组分得到第三纯化脱轻组分；进行分子筛吸附处理脱除痕量氢气和水，进行第二脱重处理脱除剩余的金属杂质和重有机组分得到第四脱重纯化组分；精滤得到电子级甲烷。本发明专利技术还提供了以LNG为原料制备电子级甲烷的系统。本发明专利技术制得的电子级甲烷有机纯度大于99.999％，总金属离子杂质含量小于1ppb，水含量小于1ppm，大于等于0.5μm固体颗粒小于5个/mL，能满足极大规模集成电路的制备需要。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种以lng为原料制备电子级甲烷的方法及系统，属于甲烷净化。

技术介绍

1、甲烷在自然界的分布很广，是天然气、沼气、坑气等的主要成分，俗称瓦斯。它可用来作为燃料及制造氢气、炭黑、一氧化碳、乙炔、氢氰酸及甲醛等物质的原料。甲烷主要的来源包括有机废物的分解、天然气(23％)、化石燃料中提取(20％)以及其他来源。

2、除了可以作为重要的燃料和化工产品外，甲烷更为重要的用途是用作太阳能电池，非晶硅膜气相化学沉积的碳源，以及应用在其他半导体产品中。由钢厂产生的二氧化碳可以甲烷化后再次反补到光伏行业中。hg/t 3633-1999中规定了甲烷不同品质的质量要求，其中优等品的甲烷体积分数≥99.995％，乙烷体积分数≤15ppm，氧气体积分数≤5ppm，氮气体积分数≤15ppm，氢气体积分数≤5ppm，水体积分数≤5ppm。但是半导体行业电子级化学品针对有机组分、金属杂质含量等提出了更为严苛的要求，在沉积工序中，产品中杂质尤其是金属离子的存在，很容易导致错层的产生，由此而增加漏电流、造成击穿及降低载流子的寿命。纯度每提高一个数量级，都将促进集本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种以LNG为原料制备电子级甲烷的方法，其包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述LNG是通过焦炉煤气制备的。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述LNG的组成包含：CH497.5-99％、氮气0.2-0.5％、氢气0.1-0.5％、Cn1-2％。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一脱重纯化组分的乙烷含量≤15ppm；

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一膜过滤处理所采用的膜的孔径为0.05-0.5μm；

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第三纯化脱轻组分的氮气含量≤1ppm，一氧化碳...

【技术特征摘要】

1.一种以lng为原料制备电子级甲烷的方法，其包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述lng是通过焦炉煤气制备的。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述lng的组成包含：ch497.5-99％、氮气0.2-0.5％、氢气0.1-0.5％、cn1-2％。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一脱重纯化组分的乙烷含量≤15ppm；

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一膜过滤处理所采用的膜的孔径为0.05-0.5μm；

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第三纯化脱轻组分的氮气含量≤1ppm，一氧化碳含量≤1ppm；

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述分子筛吸附处理的产物的氢气含量≤0.5ppm，水含量≤0.5ppm；

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二脱重处理采用的脱重塔的塔底采出比控制为0.3-0.6。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述电子级甲烷的有机纯度大于99.999％，总金属离子杂质含量小于10ppb，水含量小于1ppm，大于等于0.5μm的固体颗粒的数量...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭文汇，郭思成，张牧，杨伟明，杜雄伟，高峰，孙新星，吴英军，
申请(专利权)人：北京京诚泽宇能源环保工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：