一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法技术

本发明专利技术公开了一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，属于碳化硅陶瓷技术领域，所述成型方法由以下步骤组成：制备陶瓷粉，成型，一次烧结，真空浸渍，二次烧结；所述制备陶瓷粉，按重量份计，将大粒径碳化硅粉、中粒径碳化硅粉、小粒径碳化硅粉、包覆炭黑、石墨、酚醛树脂、去离子水混合后加入球磨机中进行球磨，得到浆料；对浆料进行喷雾造粒，得到陶瓷粉；本发明专利技术的成型方法能够通过降低碳化硅陶瓷晶舟中的游离硅含量，从而提高碳化硅陶瓷晶舟的化学稳定性、高温耐受性，还能够避免成型中的开裂和降低烧结后的尺寸收缩率，同时还能够保证陶瓷晶舟的密度、硬度不发生下降。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及碳化硅陶瓷，具体涉及一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法。

技术介绍

1、碳化硅陶瓷不仅具有优良的常温力学性能，如高抗弯强度和优秀的抗氧化性、耐腐蚀性、抗磨损性。碳化硅陶瓷的最大特点是高温强度高，普通陶瓷材料在1200-1400℃时强度将出现显著降低，而碳化硅陶瓷在1400℃时抗弯强度仍保持在较高水平，碳化硅陶瓷的工作温度可达1600-1700℃。再加上碳化硅陶瓷的热传导能力也较高，在陶瓷中仅次于氧化铍陶瓷，因此碳化硅陶瓷被广泛用于密封环、防弹板、喷嘴、高温耐蚀部件以及高温和高频范围的电子设备零部件等。

2、碳化硅陶瓷晶舟具有以下优点：高温耐受性好，由于碳化硅陶瓷的熔点高，碳化硅陶瓷晶舟能够在高温环境下使用；低污染，碳化硅陶瓷晶舟不仅具有高温耐受性，而且还有良好的化学稳定性；硬度高。

3、在碳化硅陶瓷晶舟的制备中，主要存在的问题为碳化硅陶瓷晶舟的成型问题。考虑到碳化硅陶瓷无法进行像石英一样，能够将石英制成各单元零件后，再进行熔接，使成为一体，而且由于碳化硅陶瓷的硬度高，很难进行加工，因此，在碳化硅陶瓷晶舟的制备中，需要将碳化硅本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，其特征在于，由以下步骤组成：制备陶瓷粉，成型，一次烧结，真空浸渍，二次烧结；

2.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，其特征在于，所述制备陶瓷粉中，大粒径碳化硅粉、中粒径碳化硅粉、小粒径碳化硅粉、包覆炭黑、石墨、酚醛树脂、去离子水的重量比为25-30:35-40:100-110:9-10:5-6:6-8:120-150。

3.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，其特征在于，所述制备陶瓷粉中，所述大粒径碳化硅粉的粒径为60-70μm；

4.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，其特征在于，所述...

【技术特征摘要】

1.一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，其特征在于，由以下步骤组成：制备陶瓷粉，成型，一次烧结，真空浸渍，二次烧结；

2.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，其特征在于，所述制备陶瓷粉中，大粒径碳化硅粉、中粒径碳化硅粉、小粒径碳化硅粉、包覆炭黑、石墨、酚醛树脂、去离子水的重量比为25-30:35-40:100-110:9-10:5-6:6-8:120-150。

3.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，其特征在于，所述制备陶瓷粉中，所述大粒径碳化硅粉的粒径为60-70μm；

4.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，其特征在于，所述包覆炭黑的制备中，乙醛、第一份无水乙醇、间苯二酚、三乙胺、第二份无水乙醇、炭黑的重量体积比为80-120ml:700-800ml:90-100g:1.5-2.5g:5000-6000ml:1000-1200g；

5.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，其特征在于，所述成型，将陶瓷粉加入模具中，进行预压，再进行冷等静压成型，然后采用梯度降压的方式进行泄压，得到坯体。

6.根据权利要求5所述的碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，其特征在于，所述成型中，预压的压力为40-50mpa，保压时间为20-30s；

7.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷晶舟的成型方法，其特征在于，所述一次烧结，将坯体放入真空反应烧结炉中，在真...

【专利技术属性】
技术研发人员：王明峰，王东，石金旺，李伟强，王强，石威，尹东胜，王克，王进，李雷宽，刘爱伟，
申请(专利权)人：山东华美新材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：