【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及碳化硅陶瓷生产，尤其涉及一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置。
技术介绍
1、碳化硅陶瓷晶舟是晶圆生产过程中的重要部件，有着较强的耐高温性能，在碳化硅陶瓷晶舟生产过程中，碳化硅陶瓷晶舟脱模后需要对其进行烘干，将碳化硅陶瓷晶舟内的水分排出，防止在高温烧结时因水分蒸发产生应力变形，由于未烧结的碳化硅陶瓷晶舟质地较软，无法进行夹持，直接将碳化硅陶瓷晶舟放置到烘干装置内进行烘干时，碳化硅陶瓷晶舟底部受热排出的水分在烘干装置的阻挡下无法及时排出，使水分在碳化硅陶瓷晶舟的底部聚集，聚集的水分会影响碳化硅陶瓷晶舟受热的均匀性，从而降低碳化硅陶瓷晶舟烘干后的质量。
技术实现思路
1、为了克服现有烘干装置难以烘干碳化硅陶瓷晶舟底部的缺点，本专利技术提供了一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置。
2、技术方案是：一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，包括有支撑座，所述支撑座固接有第一安装壳，所述第一安装壳转动连接有密封门，所述第一安装壳连通有进风管，所述进风管与外部热风机连通，所述第一安装壳固接有排风管，所述第一安装壳内侧固接有第二安装壳，所述排风管与所述第二安装壳连通，所述第二安装壳固接有矩形阵列分布的第一固定板，所述第二安装壳滑动连接有等间距分布的第一滑动板，所述第一固定板与相邻的所述第一滑动板密封滑动连接，所述第一滑动板开设有孔，所述第二安装壳固接有等间距分布的固定块，所述第一滑动板与相邻的所述固定块密封滑动连接，所述第二安装壳开设有等距分布的通孔，所述第二安装壳通过其上的通孔密封滑
3、进一步地，所述第一滑动板由直板开设有两组等距分布的槽组成，两组槽错位分布，所述第一滑动板上开设的孔位于所述第一滑动板上的两组槽内的侧边。
4、进一步地，所述动力组件包括有步进电机，所述步进电机固接于所述支撑座，所述步进电机的输出轴固接有摩擦轮，所述支撑座转动连接有转动杆，所述转动杆固接有摩擦轮，所述步进电机输出轴上的摩擦轮与所述转动杆上的摩擦轮摩擦配合，所述转动杆固接有对称分布的转动轮，所述转动轮固接有第一限位柱，所述第一安装壳滑动连接有对称分布的滑动杆，所述滑动杆与相邻且等间距分布的所述滑动件均固接，对称分布的所述滑动杆靠近所述步进电机的一侧均固接有方形框架，所述方形框架与相邻的所述第一限位柱滑动配合，所述第二安装壳设置有方形阵列分布的烘干组件，所述烘干组件用于烘干碳化硅陶瓷晶舟上的孔。
5、进一步地，所述烘干组件包括有密封板，所述密封板滑动连接于所述第二安装壳，所述第二安装壳开设有方形孔，所述密封板固接有圆管，所述圆管在相邻的所述方形孔内滑动，所述圆管贯穿相邻的所述密封板，所述圆管固接并连通有进风板，所述进风板位于所述第一安装壳和所述第二安装壳之间，所述圆管远离相邻所述进风板的一侧固接并连通有密封壳，所述密封壳开设有对称分布的出风孔。
6、进一步地，所述圆管滑动连接有第一限位板，所述第一限位板与相邻的所述第一滑动板固接，所述圆管上侧与相邻的所述第一限位板之间固接有第一弹簧，所述密封壳内的出风孔固接有喷管，所述喷管由多个软管扭转组成，所述第一滑动板上设置有等距分布的摆正组件，所述摆正组件用于将碳化硅陶瓷晶舟摆正。
7、进一步地，所述摆正组件包括有对称分布的第二滑动板，对称分布的所述第二滑动板均滑动连接于相邻的所述第一滑动板，对称分布的所述第二滑动板均位于相邻的所述密封壳下方，所述第二滑动板滑动连接有对称分布的弧形块，所述第一滑动板固接有对称且等距分布第二固定板，所述第二固定板与相邻的所述第二滑动板之间固接有对称分布的第二弹簧，所述第二滑动板转动连接有对称分布的第二限位板，所述第二限位板与相邻的所述弧形块限位配合，所述第二限位板与相邻的所述第二固定板之间固接有第一拉簧，所述第一拉簧的弹性系数小于所述第二弹簧的弹性系数，所述弧形块与相邻所述第二滑动板之间固接有第二拉簧，所述第二滑动板固接有限位杆，所述限位杆与相邻且对称的所述弧形块滑动连接。
8、进一步地，还包括有方形阵列分布的吹风机构，所述吹风机构设置于所述第二安装壳，所述吹风机构用于对碳化硅陶瓷晶舟进行烘干，所述吹风机构包括有限位件，所述限位件固接并连通于所述第二安装壳上侧或相邻的所述固定块，所述限位件滑动连接有滑动壳，所述滑动壳转动并连通有等间距分布的出风壳，所述出风壳开设有孔。
9、进一步地，所述限位件上等间距分布的所述出风壳的长度由内到外逐渐缩短，用于与碳化硅陶瓷晶舟对应。
10、进一步地，所述限位件设置有对称分布的第三拉簧，对称分布的所述第三拉簧两端均固接有第二限位柱，所述第二限位柱与相邻的所述限位件滑动连接，所述第二限位柱与相邻的所述出风壳滑动连接，所述出风壳与相邻的所述限位件限位配合，所述限位件设置有对称分布的第四拉簧，对称分布的所述第四拉簧两端均固接有第三限位柱，所述第三限位柱与相邻的所述限位件滑动连接，所述第三限位柱与相邻的所述出风壳滑动连接，所述第四拉簧的弹性系数小于所述第三拉簧的弹性系数。
11、进一步地，所述滑动壳固接有钢丝绳，所述限位件固接有电动开关，所述电动开关滑动连接有限位滑块，所述限位滑块与相邻的所述滑动壳限位配合，所述限位件远离相邻所述滑动壳的一侧固接有第一导向轮，所述第二安装壳和所述固定块均固接有第二导向轮，所述钢丝绳绕过相邻的所述第一导向轮和相邻的所述第二导向轮与所述密封门固接。
12、本专利技术的有益效果：本专利技术通过在烘干的过程中第一滑动板的上下滑动，对晶舟下侧的出风位置进行替换，通过第一滑动板和相邻第一固定板的交替支撑，使晶舟在烘干的过程中烘干均匀，防止影响产品质量；
13、本专利技术通过弧形块对晶舟进行限位，将晶舟防止在固定位置，并在进行烘干的过程中使弧形块与晶舟自动脱离，防止弧形块与晶舟接触影响晶舟的烘干；
14、本专利技术通过方形孔对晶舟上的孔进行烘干，将晶舟上的孔内的热量和水分无法快速排出，防止晶舟上的孔排出的出现水蒸气滞留，导致晶舟上的孔内受热不均，进而影响晶舟品质；
15、本专利技术通过在烘干时出风壳与晶舟对应，对晶舟较厚的位置重点烘干，提高烘干效率，同时防止晶舟较厚的部分烘干不彻底。
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1.一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，包括有支撑座（1），所述支撑座（1）固接有第一安装壳（101），所述第一安装壳（101）转动连接有密封门（102），所述第一安装壳（101）连通有进风管（103），所述进风管（103）与外部热风机连通，所述第一安装壳（101）固接有排风管（104），所述第一安装壳（101）内侧固接有第二安装壳（105），所述排风管（104）与所述第二安装壳（105）连通，所述第二安装壳（105）固接有矩形阵列分布的第一固定板（2），所述第二安装壳（105）滑动连接有等间距分布的第一滑动板（201），所述第一固定板（2）与相邻的所述第一滑动板（201）密封滑动连接，所述第一滑动板（201）开设有孔，所述第二安装壳（105）固接有等间距分布的固定块（202），所述第一滑动板（201）与相邻的所述固定块（202）密封滑动连接，所述第二安装壳（105）开设有等距分布的通孔，所述第二安装壳（105）通过其上的通孔密封滑动连接有对称且等间距分布的滑动件（203），所述第一滑动板（201）与相邻且对称分布的所述滑动件（203）固接，所述固定块（202）、相邻所
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述第一滑动板（201）由直板开设有两组等距分布的槽组成，两组槽错位分布，所述第一滑动板（201）上开设的孔位于所述第一滑动板（201）上的两组槽内的侧边。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述动力组件包括有步进电机（3），所述步进电机（3）固接于所述支撑座（1），所述步进电机（3）的输出轴固接有摩擦轮，所述支撑座（1）转动连接有转动杆（301），所述转动杆（301）固接有摩擦轮，所述步进电机（3）输出轴上的摩擦轮与所述转动杆（301）上的摩擦轮摩擦配合，所述转动杆（301）固接有对称分布的转动轮（302），所述转动轮（302）固接有第一限位柱（303），所述第一安装壳（101）滑动连接有对称分布的滑动杆（304），所述滑动杆（304）与相邻且等间距分布的所述滑动件（203）均固接，对称分布的所述滑动杆（304）靠近所述步进电机（3）的一侧均固接有方形框架（305），所述方形框架（305）与相邻的所述第一限位柱（303）滑动配合，所述第二安装壳（105）设置有方形阵列分布的烘干组件，所述烘干组件用于烘干碳化硅陶瓷晶舟上的孔。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述烘干组件包括有密封板（4），所述密封板（4）滑动连接于所述第二安装壳（105），所述第二安装壳（105）开设有方形孔（401），所述密封板（4）固接有圆管（402），所述圆管（402）在相邻的所述方形孔（401）内滑动，所述圆管（402）贯穿相邻的所述密封板（4），所述圆管（402）固接并连通有进风板（403），所述进风板（403）位于所述第一安装壳（101）和所述第二安装壳（105）之间，所述圆管（402）远离相邻所述进风板（403）的一侧固接并连通有密封壳（404），所述密封壳（404）开设有对称分布的出风孔。
5.根据权利要求4所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述圆管（402）滑动连接有第一限位板（5），所述第一限位板（5）与相邻的所述第一滑动板（201）固接，所述圆管（402）上侧与相邻的所述第一限位板（5）之间固接有第一弹簧（501），所述密封壳（404）内的出风孔固接有喷管（502），所述喷管（502）由多个软管扭转组成，所述第一滑动板（201）上设置有等距分布的摆正组件，所述摆正组件用于将碳化硅陶瓷晶舟摆正。
6.根据权利要求5所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述摆正组件包括有对称分布的第二滑动板（6），对称分布的所述第二滑动板（6）均滑动连接于相邻的所述第一滑动板（201），对称分布的所述第二滑动板（6）均位于相邻的所述密封壳（404）下方，所述第二滑动板（6）滑动连接有对称分布的弧形块（601），所述第一滑动板（201）固接有对称且等距分布第二固定板（602），所述第二固定板（602）与相邻的所述第二滑动板（6）之间固接有对称分布的第二弹簧（603），所述第二滑动板（6）转动连接有对称分布的第二限位板（604），所述第二限位板（604）与相邻的所述弧形块（601）限位配合，所述第二限位板（604）与相邻的所述第二固定板（602）之间固接有第一拉簧（6041...
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，包括有支撑座（1），所述支撑座（1）固接有第一安装壳（101），所述第一安装壳（101）转动连接有密封门（102），所述第一安装壳（101）连通有进风管（103），所述进风管（103）与外部热风机连通，所述第一安装壳（101）固接有排风管（104），所述第一安装壳（101）内侧固接有第二安装壳（105），所述排风管（104）与所述第二安装壳（105）连通，所述第二安装壳（105）固接有矩形阵列分布的第一固定板（2），所述第二安装壳（105）滑动连接有等间距分布的第一滑动板（201），所述第一固定板（2）与相邻的所述第一滑动板（201）密封滑动连接，所述第一滑动板（201）开设有孔，所述第二安装壳（105）固接有等间距分布的固定块（202），所述第一滑动板（201）与相邻的所述固定块（202）密封滑动连接，所述第二安装壳（105）开设有等距分布的通孔，所述第二安装壳（105）通过其上的通孔密封滑动连接有对称且等间距分布的滑动件（203），所述第一滑动板（201）与相邻且对称分布的所述滑动件（203）固接，所述固定块（202）、相邻所述第一滑动板（201）和所述第二安装壳（105）之间形成的腔体通过所述第二安装壳（105）上的通孔与外侧连通，所述支撑座（1）设置有用于带动所述滑动件（203）滑动的动力组件。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述第一滑动板（201）由直板开设有两组等距分布的槽组成，两组槽错位分布，所述第一滑动板（201）上开设的孔位于所述第一滑动板（201）上的两组槽内的侧边。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述动力组件包括有步进电机（3），所述步进电机（3）固接于所述支撑座（1），所述步进电机（3）的输出轴固接有摩擦轮，所述支撑座（1）转动连接有转动杆（301），所述转动杆（301）固接有摩擦轮，所述步进电机（3）输出轴上的摩擦轮与所述转动杆（301）上的摩擦轮摩擦配合，所述转动杆（301）固接有对称分布的转动轮（302），所述转动轮（302）固接有第一限位柱（303），所述第一安装壳（101）滑动连接有对称分布的滑动杆（304），所述滑动杆（304）与相邻且等间距分布的所述滑动件（203）均固接，对称分布的所述滑动杆（304）靠近所述步进电机（3）的一侧均固接有方形框架（305），所述方形框架（305）与相邻的所述第一限位柱（303）滑动配合，所述第二安装壳（105）设置有方形阵列分布的烘干组件，所述烘干组件用于烘干碳化硅陶瓷晶舟上的孔。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述烘干组件包括有密封板（4），所述密封板（4）滑动连接于所述第二安装壳（105），所述第二安装壳（105）开设有方形孔（401），所述密封板（4）固接有圆管（402），所述圆管（402）在相邻的所述方形孔（401）内滑动，所述圆管（402）贯穿相邻的所述密封板（4），所述圆管（402）固接并连通有进风板（403），所述进风板（403）位于所述第一安装壳（101）和所述第二安装壳（105）之间，所述圆管（402）远离相邻所述进风板（403）的一侧固接并连通有密封壳（404），所述密封壳（404）开设有对称分布的出风孔。
5.根据权利要求4所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述圆管（402）滑动连接有第一限位板（5），所述第一限位板（5）与相邻的所述第一滑动板（201）固接，所述圆管（402）...
【专利技术属性】
技术研发人员：王明峰，王东，石金旺，李伟强，王强，石威，尹东胜，王进，李雷宽，
申请(专利权)人：山东华美新材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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