下载一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法的技术资料

文档序号:41474948

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本发明公开了一种碳化硅陶瓷晶舟的成型方法,属于碳化硅陶瓷技术领域,所述成型方法由以下步骤组成:制备陶瓷粉,成型,一次烧结,真空浸渍,二次烧结;所述制备陶瓷粉,按重量份计,将大粒径碳化硅粉、中粒径碳化硅粉、小粒径碳化硅粉、包覆炭黑、石墨、酚醛...
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