【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及材料电镜测试，具体的涉及一种稀土镍酸盐薄膜截面透射样品的制备方法。
技术介绍
1、钙钛矿稀土镍酸盐是钙钛矿氧化物的一种，因为具有金属-绝缘体转变性质而受到了广泛的关注。通过氢掺杂可以实现等温诱导钙钛矿稀土镍酸盐金属-绝缘体转变，氢掺杂不需要温度调制，在低温下可以产生比原始绝缘相更高的带隙，这为其应用开辟了更多的可能。为了研究该过程中钙钛矿稀土镍酸盐微观组织的变化，需要借助透射电镜对其进行分析。
2、透射电镜样品的制备是透射电镜微观研究中至关重要的一步。透射电镜要求电子束可以穿过样品，由于电子束穿透能力较弱，用于透射电镜分析的样品厚度控制在100 nm以内为宜。透射电镜样品的制备方法有很多，应用比较广泛的传统制样方法通过预减薄、凹坑、终减薄三个主要步骤制备透射电镜样品。影响其效率与成功率的主要因素在于预减薄和凹坑过程，其中，预减薄常采用手工研磨和机械研磨两种减薄方式，手工研磨施加外力小、减薄速度慢、效率低，机械研磨施加外力大、减薄速度快、效率高。目前对于质脆的材料和对粘样品常采用手动研磨的方式，但是对于laalo...
【技术保护点】
1.一种稀土镍酸盐薄膜截面透射样品的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的稀土镍酸盐薄膜截面透射样品的制备方法，其特征在于，第二切面研磨抛光过程中，采用30 μm金刚石砂纸研磨抛光后，截面样品的厚度为100 μm；依次采用15 μm金刚石砂纸、6 μm金刚石砂纸和3μm金刚石砂纸研磨抛光后，截面样品的厚度为25 μm；依次采用1 μm金刚石砂纸和0.1 μm金刚石砂纸抛光后，截面样品的厚度为25 μm。
3.根据权利要求1所述的稀土镍酸盐薄膜截面透射样品的制备方法，其特征在于，采用离子减薄仪进行减薄至出孔时，离子减薄仪的...
【技术特征摘要】
1.一种稀土镍酸盐薄膜截面透射样品的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的稀土镍酸盐薄膜截面透射样品的制备方法，其特征在于，第二切面研磨抛光过程中，采用30 μm金刚石砂纸研磨抛光后，截面样品的厚度为100 μm；依次采用15 μm金刚石砂纸、6 μm金刚石砂纸和3μm金刚石砂纸研磨抛光后，截面样品的厚度为25 μm；依次采用1 μm金刚石砂纸和0.1 μm金刚石砂纸抛光后，截面样品的厚度为25 μm。
3.根据权利要求1所述的稀土镍酸盐薄膜截面透射样品的制备方法，其特征在于，采用离子减薄仪进行减薄至出孔时，离子减薄仪的电压4.5~6 kv，离子束发射靶的角度±10°，时间为60~90 min。
4.根据权利要求1所述的稀土镍酸盐薄膜截面透射样品的制备方法，其特征在于，扩大样品切面的薄区时，离子减薄仪的电压为3~4 kv，离子束发射靶的角为±8°，时间为20~30min；然后...
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