【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆储存设备领域，更具体地说，它涉及一种多库位晶圆存放拿取装置。
技术介绍
1、在半导体行业中，晶圆是其的一个重要组成部分，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
2、晶圆的特点是存储过程中要保证无尘、防震，否则容易对脆弱的晶圆片造成损害，对晶圆的储存需要使用到储料仓，储料仓内设置有料架用于存放晶圆，相关技术中，对晶圆的拿取需要人工进入储料仓内操作，人体及衣服上容易沾染灰尘，人工进出储料仓内容易将灰尘带入到储料仓内对晶圆造成污染，且工人进出储存库的过程中容易出现不可控因素，如造成芯片碰撞破碎等。
技术实现思路
1、为了解决相关技术中，对晶圆的拿取需要人工进入储料仓内操作，容易的将灰尘带入到储料仓内对晶圆造成污染，且工人进出储存库的过程中容易出现不可控因素的问题，本申请提供一种多库位晶圆存放拿取装置。
2、一种多库位晶圆存放拿取装置...
【技术保护点】
1.一种多库位晶圆存放拿取装置，其特征在于：包括仓体(1)及控制系统(2)，所述仓体(1)为方形设置且内部中空，所述仓体(1)的两相对内侧均设置有框型料架(3)，所述框型料架(3)框内由左至右间隔设置有若干料柱(4)，所述料柱(4)的左右两侧面由上至下间隔设置有若干格槽(41)用于插放晶圆，所述仓体(1)的一端设置有窗口(11)连通内部，两个所述框型料架(3)之间设置有呈对称的两组存放拿取组件(5)，每组所述存放拿取组件(5)均包括夹板(51)、摆动驱动件(52)、多轴机械臂(53)，所述摆动驱动件(52)与所述夹板(51)连接驱动所述夹板(51)摆动使夹板(51)端...
【技术特征摘要】
1.一种多库位晶圆存放拿取装置，其特征在于：包括仓体(1)及控制系统(2)，所述仓体(1)为方形设置且内部中空，所述仓体(1)的两相对内侧均设置有框型料架(3)，所述框型料架(3)框内由左至右间隔设置有若干料柱(4)，所述料柱(4)的左右两侧面由上至下间隔设置有若干格槽(41)用于插放晶圆，所述仓体(1)的一端设置有窗口(11)连通内部，两个所述框型料架(3)之间设置有呈对称的两组存放拿取组件(5)，每组所述存放拿取组件(5)均包括夹板(51)、摆动驱动件(52)、多轴机械臂(53)，所述摆动驱动件(52)与所述夹板(51)连接驱动所述夹板(51)摆动使夹板(51)端部对位相邻两根所述料柱(4)之间或对位窗口(11)，所述多轴机械臂(53)与所述摆动驱动件(52)连接，所述摆动驱动件(52)和所述多轴机械臂(53)均与所述控制系统(2)信号连接。
2.根据权利要求1所述的一种多库位晶圆存放拿取装置，其特征在于：所述多轴机械...
【专利技术属性】
技术研发人员：李占胜，
申请(专利权)人：东莞市国脉智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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