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本申请涉及晶圆储存设备领域,尤其涉及一种多库位晶圆存放拿取装置,其包括仓体及控制系统,仓体为方形设置且内部中空,仓体的两相对内侧均设置有框型料架,框型料架框内由左至右间隔设置有若干料柱,料柱的左右两侧面由上至下间隔设置有若干格槽用于插放晶圆...该专利属于东莞市国脉智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市国脉智能科技有限公司授权不得商用。
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本申请涉及晶圆储存设备领域,尤其涉及一种多库位晶圆存放拿取装置,其包括仓体及控制系统,仓体为方形设置且内部中空,仓体的两相对内侧均设置有框型料架,框型料架框内由左至右间隔设置有若干料柱,料柱的左右两侧面由上至下间隔设置有若干格槽用于插放晶圆...