【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光加工,特别是一种激光加工方法及装置。
技术介绍
1、在micro led/micro oled,mini led等微型显示产品行业中,在这类产品的制造过程中,会出现产品的引脚区域有一层透明覆盖膜需要去除的工艺需求。覆盖膜通常是由氧化铝,氧化钛,氮化硅等不同材料层构成,有些还有一层有机高分子层。此覆盖膜整体厚度在1微米左右,用激光方式剥离较为合适,但普通的激光很难精准的剥离干净,并且极容易伤到下面的金属层等其他材料。此外,现有的激光加工装置,任何人仅需按下启动开关即可开启装置,存在安全隐患;同时现有的激光加工装置并未设置操作权限,在工作流程中或其它原因需要替换工作人员时,并未采取相应的限制,容易因操作不当对造成安全事故或对产品造成损坏。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本专利技术提出一种激光加工方法,能够提升激光剥离的加工安全性和加工精度。
2、本专利技术还提出一种具有上述激光加工方法的激光加工装置。
3、
...【技术保护点】
1.一种激光加工方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的激光加工方法,其特征在于:所述激光参数包括所述待加工件对应的激光尺寸信息,且还包括以下步骤:
3.根据权利要求1所述的激光加工方法,其特征在于:所述激光参数还包括所述待加工件对应的激光参数,在执行所述当配对成功时,输出激光对所述待加工件进行激光加工之前,根据所述激光参数调节激光的功率。
4.根据权利要求1所述的激光加工方法,其特征在于:所述激光参数还包括所述待加工件对应的激光波长信息,在执行所述当配对成功时,输出激光对所述待加工件进行激光加工之前,根据所述激光
...【技术特征摘要】
1.一种激光加工方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的激光加工方法,其特征在于:所述激光参数包括所述待加工件对应的激光尺寸信息,且还包括以下步骤:
3.根据权利要求1所述的激光加工方法,其特征在于:所述激光参数还包括所述待加工件对应的激光参数,在执行所述当配对成功时,输出激光对所述待加工件进行激光加工之前,根据所述激光参数调节激光的功率。
4.根据权利要求1所述的激光加工方法,其特征在于:所述激光参数还包括所述待加工件对应的激光波长信息,在执行所述当配对成功时,输出激光对所述待加工件进行激光加工之前,根据所述激光波长信息调节激光的波长参数。
5.根据权利要求1所述的激光加工方法,其特征在于:所述加工信号由当前加工人员按下加工开关后发出。
【专利技术属性】
技术研发人员:杨军,张贤俊,董岱,白秉万,崔㠯镐,徐石峰,
申请(专利权)人:珠海东辉半导体装备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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