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本发明涉及激光加工技术领域，公开了一种激光加工方法及装置，能够提升激光剥离的加工安全性和加工精度。本发明包括控制模块、人体特征信号识别模块、控制开关模块、载物台、激光模块、光束整形模块以及聚焦模块；控制模块可以用于执行如本发明的激光加工方法...
该专利属于珠海东辉半导体装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海东辉半导体装备有限公司授权不得商用。

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