【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及坩埚，特别是涉及一种碳化钽浆料、碳化钽涂层及其制备方法和坩埚。
技术介绍
1、碳化钽由于其优异的热稳定性和化学惰性，是单晶生长用坩埚的理想衬底材料。通过粉末烧结可形成致密碳化钽涂层，但是粉末烧结存在由于粉末致密膜烧结收缩的应力和来自基板的约束而产生的裂纹的问题。
2、目前，坩埚表面的tac涂层（碳化钽涂层）可通涂覆碳化钽粉末浆料再进行烧结的方式形成，以降低碳化钽涂层出现裂纹的风险。但是该方法存在烧结后的碳化钽涂层的碳含量低的问题；此外，碳化钽粉末的密度大，很容易发生沉降，降低浆料的稳定性，引起涂层因密度不均匀而导致烧结后的涂层产生缺陷；且碳化钽浆料中粉末因较细容易团聚，且不易分散，引起固相含量不高，降低了烧结涂层的致密度。
技术实现思路
1、基于此，有必要提供一种稳定性较好，可形成较高堆积密度的碳化钽浆料及其制备方法，以及采用该碳化钽浆料制备的具有较高致密度且裂纹少的碳化钽涂层及其制备方法和坩埚。
2、本专利技术第一方面提供一种碳化钽浆料，按质量份数计...
【技术保护点】
1.一种碳化钽浆料，其特征在于，按质量份数计，其组分包括70份~80份的改性碳化钽、0.5份~1.0份烧结助剂、0.5份~1.0份粘结剂和18.5份~28份溶剂；所述改性碳化钽包括碳化钽和聚合物树脂层，所述聚合物树脂层包覆在所述碳化钽的表面。
2.如权利要求1所述的碳化钽浆料，其特征在于，所述碳化钽浆料满足以下条件中的至少一项：
3.如权利要求1~2任一项所述的碳化钽浆料，其特征在于，所述碳化钽浆料满足以下条件中的至少一项：
4.如权利要求1~2任一项所述的碳化钽浆料，其特征在于，所述碳化钽为表面羟基化的碳化钽；和/或，
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