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本发明涉及一种碳化钽浆料、碳化钽涂层及其制备方法和坩埚。碳化钽浆料，按质量份数计，其组分包括70份~80份的改性碳化钽、0.5份~1.0份烧结助剂、0.5~1.0份粘结剂和18.5份~28份溶剂；改性碳化钽包括碳化钽和聚合物树脂层，聚合物树...
该专利属于苏州铠欣半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州铠欣半导体科技有限公司授权不得商用。

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