【技术实现步骤摘要】
本公开在这里涉及制造六方氮化硼多层的方法，更具体地，涉及使用包括铁的催化剂基底制造六方氮化硼多层的方法。
技术介绍
1、六方氮化硼通常具有类似于石墨的六方层状结构的六方层状结构。六方氮化硼在诸如散热性、高电绝缘性、高润滑性、耐腐蚀性、释放性、高温稳定性和化学稳定性的性质方面是优异的。
2、作为制造六方氮化硼多层的方法，有已知的方法，诸如：涉及通过使用氮或氨直接使硼氮化的方法；涉及使卤化硼与氨或铵盐发生反应的方法；以及涉及使诸如氧化硼的硼化合物与含氮有机化合物发生反应以进行还原-氮化的方法。
技术实现思路
1、本公开提供了使用化学气相沉积制造具有优异的结晶度、均匀性和覆盖性的六方氮化硼多层的方法。
2、专利技术构思的实施例提供了制造六方氮化硼多层的方法，所述方法包括：将包括铁的催化剂基底提供到管中，使用加热器将管的内部温度升高至1400℃或者更高，并且将氮化硼前驱体提供到管中以在催化剂基底上形成六方氮化硼多层。
3、在专利技术构思的实施例中，提供了制造六方...
【技术保护点】
1.一种制造六方氮化硼多层的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述管包括氧化铝。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述加热器包括碳化硅或硅化钼。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，将所述氮化硼前驱体提供到所述管中的步骤包括：使所述氮化硼前驱体与所述催化剂基底反应以使硼溶解在所述催化剂基底中。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，其中溶解有硼的所述催化剂基底被熔化。
6.根据权利要求5所述的方法，所述方法还包括：降低所述管的所述内部温度以使熔化的催化剂基底凝固。
7.根...
【技术特征摘要】
1.一种制造六方氮化硼多层的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述管包括氧化铝。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述加热器包括碳化硅或硅化钼。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，将所述氮化硼前驱体提供到所述管中的步骤包括：使所述氮化硼前驱体与所述催化剂基底反应以使硼溶解在所述催化剂基底中。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，其中溶解有硼的所述催化剂基底被熔化。
6.根据权利要求5所述的方法，所述方法还包括：降低所述管的所述内部温度以使熔化的催化剂基底凝固。
7.根据权利要求6所述的方法，其中，凝固的催化剂基底包括fe2b晶体和fe晶体。
8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述氮化硼前驱体为环硼氮烷。
9.一种制造六方氮化硼多层的方法，所述方法包括：
10.根据权利要求9所述的方法，其中，熔化所述催化剂基底的步骤包括使所述催化剂基底全部熔化。
【专利技术属性】
技术研发人员：金秀珉，高厦荣，
申请(专利权)人：淑明女子大学校产学协力团，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。