温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供了一种根据发明构思的实施例的制造六方氮化硼多层的方法和驱动沉积设备的方法，制造六方氮化硼多层的方法包括：将包括铁的催化剂基底提供到管中，使用加热器将管的内部温度升高至1400℃或者更高，并将氮化硼前驱体提供到管中以在催化剂基底上形成六方...
该专利属于淑明女子大学校产学协力团所有，仅供学习研究参考，未经过淑明女子大学校产学协力团授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。