【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及碳化硅产品抛光，具体提出了一种碳化硅产品自动抛光机及抛光方法。
技术介绍
1、碳化硅陶瓷制品是一类非常耐高温、耐腐蚀和具有优异机械性能的陶瓷制品，碳化硅陶瓷制品在半导体行业中有着广泛的应用，例如半导体器件的基板材料、半导体封装材料、散热片等，其中碳化硅陶瓷散热片是半导体器件散热器中主要部件，应用非常广泛，碳化硅陶瓷散热片的制备工艺包括混料、成型、烧结固化、磨削、抛光等步骤。在碳化硅陶瓷散热片烧结成型后需要进行抛光，主要是为了提高其表面的光滑度和平整度，同时也可以改善其外观、热传导性能和可靠性。
2、碳化硅陶瓷散热片呈由一个水平段与水平段上连接的多个竖直段组成的梳齿状（如图4所示），其端面与拐角结构较多，在抛光的过程中难以与抛光工具进行充分接触，需要通过对碳化硅陶瓷散热片工件的表面进行多次抛光，才能达到对碳化硅陶瓷散热片的充分抛光效果，降低了碳化硅陶瓷散热片抛光的效率与便捷性，因此现在亟需一种碳化硅产品自动抛光机，对这种结构的碳化硅陶瓷散热片工件进行单次全面的自动化抛光处理，从而提高碳化硅陶瓷散热片工件的抛光效率
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1.一种碳化硅产品自动抛光机，其特征在于，包括：底座一（1）与底座二（2），底座一（1）与底座二（2）的顶部共同设置有对工件（5）进行夹持的夹持机构（3），底座一（1）与底座二（2）之间设置有对工件（5）进行抛光的抛光机构（4）；
2.根据权利要求1所述一种碳化硅产品自动抛光机，其特征在于：所述推拉组（43）包括连接在固定筒（42）与倒L形板（44）竖直段之间的伸缩杆（430），固定筒（42）的下端滑动插接有滑移杆（431），固定筒（42）的侧壁开设有滑移槽（432），倒L形板（44）的竖直段与滑移杆（431）之间铰接有摆动杆（433），补充板（46）与滑...
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅产品自动抛光机，其特征在于，包括：底座一（1）与底座二（2），底座一（1）与底座二（2）的顶部共同设置有对工件（5）进行夹持的夹持机构（3），底座一（1）与底座二（2）之间设置有对工件（5）进行抛光的抛光机构（4）；
2.根据权利要求1所述一种碳化硅产品自动抛光机，其特征在于：所述推拉组（43）包括连接在固定筒（42）与倒l形板（44）竖直段之间的伸缩杆（430），固定筒（42）的下端滑动插接有滑移杆（431），固定筒（42）的侧壁开设有滑移槽（432），倒l形板（44）的竖直段与滑移杆（431）之间铰接有摆动杆（433），补充板（46）与滑移杆（431）之间也铰接有摆动杆（433），摆动杆（433）贯穿相对应的滑移槽（432），同一支撑条（41）上的多个滑移杆（431）的下端贯穿支撑条（41）后共同安装有带动条（434），支撑条（41）的底部安装有沿其长度方向对称布置的固定座（435），带动条（434）与固定座（435）滑动连接。
3.根据权利要求1所述一种碳化硅产品自动抛光机，其特征在于：所述插接组包括连接在倒凵形架（402）两个竖直段上的倒l形插杆（410），滑移座（40）上开设有沿其长度方向均匀排布的插接槽（411），倒l形插杆（410）的竖直段与插接槽（411）插接。
4.根据权利要求1所述一种碳化硅产品自动抛光机，其特征在于：所述锁定组包括开设在连接座（401）上的导向槽（420），导向槽（420）的中部两侧均开设有扇形槽（422），升降板（49）的底部转动连接有旋转锁板（421），旋转锁板（421）上固定连接有锁紧杆（423），锁紧杆（423）贯穿升降板（49）且与升降板（49）之间通过螺纹配合的方式相连接。
5.根据权利要求1所述一种碳化硅产品自...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱晓峰，李庆甲，韩玉，
申请(专利权)人：辽宁汉京半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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