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本发明涉及碳化硅产品抛光技术领域，具体提出了一种碳化硅产品自动抛光机及抛光方法，包括：底座一、底座二、抛光机构与夹持机构。本发明所设计的一种碳化硅产品自动抛光机及抛光方法，工件可以直接插放在抛光机构上，提高了工件放置的便捷性，之后再通过抛光...
该专利属于辽宁汉京半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过辽宁汉京半导体材料有限公司授权不得商用。

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