流量计和流量控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流量计和具有其的流量控制装置，该流量计能够得到被测量流体的整流效果，减少压力损失。流量计（２）对被测量流体的流量进行测量，包括：被测量流体所流过的流路（５）、以及配置于流路（５）内的整流体（２０），整流体（２０）具有被测量流体的整流用孔，并且具有比垂直于流路（５）的延伸方向的方向上的流路剖面积大的面积。流量控制装置（１）包括：流量计（２）；控制阀（３）；以及控制单元（４），该控制单元（４）通过流量计（２）所检测的流量的信息，对控制阀（３）进行控制，从而调整流过流量计（２）的流路（５）的流体的流量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种流量计和流量控制装置。
技术介绍
一直以来，对被测量流体的流量进行检测的流量计被实用化。为了使用这种流量计对流量进行正确的测量，需要抑制流过流路的被测量流体的紊乱，使速度分布稳定。因此，目前，提出在流量计的流路上设置多片整流板，从而抑制流过流路的被测量流体的紊乱的技术(例如，参考专利文献1)。而且，近年来，也提出在流路上设置多个弯曲部，使流体与流路的内壁冲撞，从而使流体的速度分布稳定的技术(例如，参考专利文献2和3)。专利文献1:日本特开2005-24080号公报专利文献2:国际公开第2005/121718号小册子专利文献3:日本特开2007-121036号公报但是，如果采用专利文献1所记载的技术的话，以往的整流板被配置成垂直于流路的延伸方向，因此存在被测量流体的压力损失增大的问题。而且，即使采用专利文献2、专利文献3所记载的技术，由于为了获得具有再现性的一定的流速分布而设置的多个弯曲部，被测量流体的压力损失可能增大。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术鉴于这样的情况而作成，目的在于提供一种流量计和具有该流量计的流量控制装置，该流量计能够抑制压力损失的增大并且获得被测量流体的整流效果。解决课题的手段为了达到上述目的，本专利技术的流量计，对被测量流体的流量进行测量，该流量计包括被测量流体所流过的流路和配置于该流路内的整流体，整流体具有被测量流体的整流用孔，并且具有比垂直于流路的延伸方向的方向上的流路剖面积大的面积。采用这种结构，整流体具有比垂直于流路的延伸方向的方向上的流路剖面积大的面5积，因此能够增大整流体上所形成的整流用孔的数量和总面积，从而能够抑制整流体所引起的被测量流体的压力损失的增大，并且能够获得整流效果。因此，能够提高被测量流体的流量的测量精度。在上述流量计中，能够采用具有至少一片相对于流路的延伸方向倾斜地配置的整流板的整流体。采用这种结构，构成整流体的整流板相对于流路的延伸方向倾斜地配置(即以不垂直于流路的延伸方向的状态)，因此与以往将整流板以垂直于流路的延伸方向的状态配置相比，能够增大整流板的面积。因此，能够增大整流板上所形成的整流用孔的数量和总面积，从而能够抑制整流体所引起的被测量流体的压力损失的增大，并且能够获得整流效果。因此，能够提高被测量流体的流量的测量精度。在所述流量计中，整流板的外周面能够被配置成全周抵接于流路的内壁。采用这样的结构，通过作用在整流板的外周面与流路的内壁之间的摩擦力，能够可靠地相对流路固定整流板。而且，整流板的外周面全周抵接于流路内壁，因此能够防止在整流板和流路之间形成间隙。而且，在所述流量计中，能够采用流路块和盖构件，通过盖构件堵住流路块的开口部而形成直管状流路。所述流路块，在其内部设有用于形成流路的、直线状延伸的流路形成部，并且具有用于使流路形成部的上方与外部连通的开口部；所述盖构件，其被配置成堵住该流路块的开口部。当盖构件堵住流路块的开口部时，能够使整流板的外周面抵接于盖构件，并且使整流板的外周面抵接于流路块的内壁，将整流板夹入盖构件和流路块的内壁之间而固定。这时，能够将盖构件的整流板的抵接位置和流路块的整流板的抵接位置，设定成在直管状流路的延伸方向上不同。而且，在所述流量计中，能够采用直管状流路，该直管状流路具有配置有流量传感器的传感器流路部，该流量传感器对被测量流体的流速或流量进行检测；以及形成于传感器流路部的上游侧和/或下游侧的扩径流路部，该扩径流路部的流路剖面积比传感器流路部大。能够以相对于与直管状流路的延伸方向垂直的面倾斜的状态设置扩径流路部的传感器流路部侧的端面，将整流板配置成抵接于直管状流路的扩径流路部的端面而固定。采用这样的结构，能够相对于直管状流路的延伸方向倾斜地配置并固定整流板。因此在具有直管状流路的流量计中，能够抑制被测量流体的压力损失的增大，并且能够获得整流效果，因此，能够提高被测量流体的流量的测量精度。而且，在所述流量计中，能够采用弯曲流路，该弯曲流路具有直线状延伸的传感器流路部、并且传感器流路部的上游侧和/或下游侧在弯曲部弯曲而构成，该传感器流路部配 置有对被测量流体的流速或流量进行检测的流量传感器。这时采用包括配置在传感器流路 部的内壁上的平板、以及与平板的上游侧端部和/或下游侧端部倾斜地连接的整流板的整 流体，使整流板的外周面配置成抵接于弯曲流路的弯曲部的内壁，从而能够将整流体固定 于弯曲流路。采用这种结构，能够相对于弯曲流路的传感器流路部的延伸方向倾斜地配置并固定整 流板。因此，在具有弯曲流路的流量计中，能够抑制被测量流体的压力损失的增大，并且 能够获得整流效果，从而能够提高被测量流体的流量的测量精度。而且，在所述流量计中，能够采用流路块和电路基板，在该流路块内部设有用于形成 弯曲流路的传感器流路部的、直线状延伸的传感器流路形成部，并且该流路块具有用于使 传感器流路形成部的上方与外部连通的开口部，在该电路基板的一个面上具有流量传感 器，在另一个面上具有与电路连接的电路用电极,该电路执行使用流量传感器的测量原理。 这时，以电路基板堵住流路块的开口部、并且电路基板的流量传感器面对流路块的传感器 流路形成部的状态，相对于流路块配置电路基板,从而能够形成弯曲流路的传感器流路部。采用这种结构，能够将整流体从构成弯曲流路的流路块的开口部放入，从而容易地配 置在弯曲流路内。而且，在所述流量计中，能够通过在具有刚性的板状构件上用冲孔形成孔而构成整流板。采用这种结构，能够获得具有刚性的整流板，能够将该整流板应用于中流量到大流量 测量用的流量计。而且，在所述流量计中，也能够通过在薄板上用蚀刻形成孔而构成整流板。 采用这种结构，能够获得薄型的整流板，能够将该整流板应用于微小流量测量用的流 量计。而且，在所述流量计中，也能够采用向流路的延伸方向的一个方向鼓起而形成的笊篱 状的整流体。而且，本专利技术的流量控制装置包括所述流量计；控制阀；以及控制单元，该控制单 元根据所述流量计所检测的流量的信息，对控制阀进行控制，从而对流过所述流量计的流 路的流体的流量进行调整。采用这样的结构，具有能够抑制压力损失的增大并且获得被测量流体的整流效果、流 量的测量精度高的流量计，因此能够提高流体的流量调整的精度。7专利技术的效果采用本专利技术，能够提供一种流量计和具有该流量计的流量控制装置，该流量计能够抑 制压力损失的增大并且获得被测量流体的整流效果。附图说明图1是用于说明本专利技术的第1实施形态的流量控制装置的结构的大致结构图。图2是本专利技术的第1实施形态的流量计(具有直管状流路的结构)的剖面图。图3是图2的流量计的流路块的俯视图。图4是从IV-IV方向看图3的流路块时的剖面图。图5是配置有图2的流量计的整流体(整流板)的流路块的俯视图。图6是从IV-IV方向看配置有图5的整流板的流路块时的剖面图。图7是图2的流量计的流量传感器的立体图。图8是从W-VDI方向看图7的流量传感器时的剖面图。图9是表示本专利技术的第1实施形态的流量计的整流板的一例(矩形)的图，(A)是从 流路上游侧看的图，(B)是从流路侧面看的剖面图。图IO是表示以往的流量计的矩形整流板的图，(A)是从流路上游侧看的图，(B)是 从流路侧面看的剖面图。图ll是表示本专利技术的第l实施形态的流量计的整本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流量计，对被测量流体的流量进行测量，该流量计包括：所述被测量流体所流过的流路、以及配置于所述流路内的整流体，其特征在于，　所述整流体具有所述被测量流体的整流用孔，并且具有比垂直于所述流路的延伸方向的方向上的流路剖面积大的面积。

【技术特征摘要】
JP 2008-9-12 2008-2341191.一种流量计，对被测量流体的流量进行测量，该流量计包括所述被测量流体所流过的流路、以及配置于所述流路内的整流体，其特征在于，所述整流体具有所述被测量流体的整流用孔，并且具有比垂直于所述流路的延伸方向的方向上的流路剖面积大的面积。2. 如权利要求1所述的流量计，其特征在于，所述整流体具有至少一片相对于所述流路的延伸方向倾斜地配置的整流板， 所述整流板被配置成其外周面全周抵接于所述流路的内壁。3. 如权利要求2所述的流量计，其特征在于，包括流路块，在其内部设有用于形成所述流路的、直线状延伸的流路形成部，并且具有用 于使所述流路形成部的上方与外部连通的开口部；以及 盖构件，其被配置成堵住所述流路块的所述开口部，所述流路是通过所述盖构件堵住所述流路块的所述开口部而形成的直管状流路， 当所述盖构件堵住所述流路块的所述开口部时，所述整流板的外周面抵接于所述盖构件，并且所述整流板的外周面抵接于所述流路块的内壁，所述整流板被夹入所述盖构件和所述流路块的内壁之间而被固定。4. 如权利要求3所述的流量计，其特征在于，所述盖构件的所述整流板的抵接位置 和所述流路块的所述整流板的抵接位置，被配置成在所述直管状流路的延伸方向上不同。5. 如权利要求3或4所述的流量计，其特征在于，所述直管状流路具有配置有流 量传感器的传感器流路部，该流量传感器对所述被测量流体的流速或流量进行检测；以及形成于所述传感器流路部的上游侧和/或下游侧的扩径流路部，该扩径流路部的流路剖面 积比所述传感器流路部大，所述扩径流路部的所述传感器流路部侧的端面，以相对于与所述直管状流路的延伸方 向垂直的面倾斜的状态被设置，所述整流板，被配置成抵接于所述直管状流路的所述扩径流路部的所述端面而...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻垣广行，青岛滋，渡边刚，
申请(专利权)人：株式会社山武，
类型：发明
国别省市：JP[日本]