【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学器件集成，尤其涉及基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎、加工方法及工作方法。
技术介绍
1、集成光学模块是目前光通信、传感等领域的研究热点，是未来光电磁学相关领域的主要发展方向，集成光学技术可实现分立光学器件的小型化与集成化，实现批量化生产，从而降低生产成本，掌握完整的集成光学核心技术可以使企业在市场中占据更多的份额，提高企业竞争力。
2、基于sagnac效应（萨格纳克效应）的角速度传感光学陀螺也正朝着集成化、小型化的方向发展，如何在尽量保持集成光陀螺的精度与分立器件相当的同时，大幅度减小陀螺整体尺寸，降低生产成本是集成光学陀螺研究的热门话题。然而，集成光学陀螺需要使用sld光源（超辐射发光二极管）、光探测器、光调制器等有源器件，与目前较为成熟的广泛应用于电子领域的cmos加工工艺不同的是，所用不同材料之间由于晶格常数的不匹配而具有一定的不兼容性，增加了有源器件和无源器件或不同种类的器件彼此之间高效集成的困难度，在功能器件整体性能保持相对优良的同时，集成光学陀螺芯片体积和生产成本很难进一步下降，因此，寻找能同时实现...
【技术保护点】
1.基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎，其特征在于：包括集成布置且依次经薄膜铌酸锂脊波导进行光级联的光源、起偏器、光分束器、调制器和探测器，薄膜铌酸锂脊波导包括铌酸锂波导层以及分别包覆于铌酸锂波导层上下两侧的SiO2上包层和SiO2下包层，铌酸锂波导层包括SOI晶圆基底层和铌酸锂薄膜。
2.根据权利要求1所述的基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎，其特征在于：薄膜铌酸锂脊波导为拉锥结构或阵列波导光栅结构；当薄膜铌酸锂脊波导为拉锥结构时，光源与薄膜铌酸锂脊波导的侧部对准；当薄膜铌酸锂脊波导为阵列波导光栅结构时，光源与薄膜铌酸锂脊波导的顶端对准；
3.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎，其特征在于：包括集成布置且依次经薄膜铌酸锂脊波导进行光级联的光源、起偏器、光分束器、调制器和探测器，薄膜铌酸锂脊波导包括铌酸锂波导层以及分别包覆于铌酸锂波导层上下两侧的sio2上包层和sio2下包层，铌酸锂波导层包括soi晶圆基底层和铌酸锂薄膜。
2.根据权利要求1所述的基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎，其特征在于：薄膜铌酸锂脊波导为拉锥结构或阵列波导光栅结构；当薄膜铌酸锂脊波导为拉锥结构时，光源与薄膜铌酸锂脊波导的侧部对准；当薄膜铌酸锂脊波导为阵列波导光栅结构时，光源与薄膜铌酸锂脊波导的顶端对准；
3.根据权利要求1所述的基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎，其特征在于：光源经空间光耦合的方式与薄膜铌酸锂脊波导耦合；
4.根据权利要求1所述的基于铌酸锂的光学陀螺用光引擎，其特征在于： 起偏器为单级结构或者多级级联结构；
<...【专利技术属性】
技术研发人员：冯丽爽，冯迪，裴文轩，周震，焦洪臣，李鑫宇，王思源，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：
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