【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学元件表面镀膜领域，具体涉及一种刮刀涂布气氛调节装置。
技术介绍
1、在许多涂布工艺中，刮刀涂布是一种常见的涂布方法。该方法通常涉及使用一把刮刀，将溶液均匀地涂布在基材上。刮刀涂布技术广泛应用于光学元件表面镀膜领域，以实现微纳米厚度、均匀分布的涂层。
2、在刮刀完成对溶液的涂布后，溶液的干燥过程对于最终的膜厚均匀性的影响较大，而对溶液干燥过程影响较大的是溶液中溶剂的挥发速率，溶剂挥发速率较快的区域会有较大的表面张力，从而使得溶液中的溶质向该区域移动，导致最终制备的薄膜均匀性较差。为此，需要在干燥过程中向制备区域内通入溶剂蒸气以控制溶剂的挥发速率，使溶剂保持稳定的挥发速率进行挥发。
3、现有的刮刀涂布装置集中在对于刮刀涂布过程中刮刀装置的研究上，如cn117563898a的中国专利公开了一种高精度涂布厚度控制的逗号刮刀转移涂布头，通过对刮刀角度的控制实现对于膜厚及均匀性的控制。目前暂无对于控制气氛提高刮刀涂布薄膜均匀性的相关专利技术，现有的刮刀涂布装置难以实现对于膜厚均匀性的精确控制。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于设计一种在刮刀涂布过程中对腔室气氛进行控制的装置，通过控制刮涂腔室内溶剂蒸气的浓度来实现对刮刀涂布制备的薄膜进行膜厚和均匀性的精确控制。
2、为了实现上述目的，本专利技术的技术方案如下：一种刮刀涂布气氛调节装置，包括底部支撑结构、吸气结构、注气结构和顶部盖板结构；
3、所述底部支撑结构为上开口的矩形箱
4、所述顶部盖板结构位于底部支撑结构的顶部，与底部支撑结构构成密封腔室；
5、所述吸气结构位于刮涂机的左侧，固定安装在底部支撑结构的内侧壁上，吸气结构的吸气孔与工作台之间存在间隙；
6、所述注气结构位于工作台的前侧和后侧，固定安装在底部支撑结构的底板上。
7、进一步地，所述底部支撑结构与顶部盖板结构之间的一侧通过铰接方式连接，另一侧通过卡扣卡紧方式固定；所述底部支撑结构与顶部盖板结构之间通过密封条密封。
8、进一步地，所述的吸气结构包括吸气孔带和吸气通道；所述的吸气孔带与工作台后侧边缘之间存在间隙；所述的注气结构包括注气孔带和注气通道；所述的注气孔带与放置在工作台上的基片之间存在间隙。
9、进一步地，所述的吸气结构为c形前后对称结构，吸气孔带固定在底部支撑结构的前内壁和后内壁上，吸气通道固定在底部支撑结构的左内壁上；
10、进一步地，所述的吸气孔带设置多个吸气孔，吸气孔沿上下左右方向均匀分布，吸气孔直径d1不大于吸气孔带宽度w1的0.2倍；所述的注气孔带设置多个注气孔，注气孔沿前后左右方向均匀分布，注气孔直径d2不大于吸气孔带宽度w2的0.2倍。
11、进一步地，所述的吸气孔带和注气孔带内通过流体的流速在0-5m3/s范围内。
12、进一步地，所述的吸气孔带与工作台之间的间隙h1不大于工作台宽度的0.1倍，注气孔带的宽度w2不大于注气孔带与工作台之间的间隙h2的5倍。
13、进一步地，所述的吸气孔带与工作台之间的距离h1不大于工作台宽度的0.5倍，注气孔带的宽度w2不大于密封腔室高度的0.8倍。
14、进一步地，整个装置为前后对称结构。
15、与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：
16、1、由于本专利技术控制了注气口内侧边缘和基片之间的距离与注气气孔宽度的关系，避免了由于距离过近而导致工作台上的基片边缘流体流速过快，边缘膜厚均匀性不可控的问题，另外，也避免了距离过远而导致注入溶剂蒸气的效果较差，实现了对刮刀涂布制备薄膜膜厚均匀性的精准控制。
17、2、本专利技术通过控制刮刀涂布腔室内的溶剂蒸气的浓度，以完成对基片各区域在同一时间干燥，实现对刮刀涂布制备薄膜的膜厚均匀性进行精确控制。
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1.一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：包括底部支撑结构(3)、吸气结构(1)、注气结构(2)和顶部盖板结构(4)；
2.根据权利要求1所述一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：所述底部支撑结构(3)与顶部盖板结构(4)之间的一侧通过铰接方式连接，另一侧通过卡扣卡紧方式固定；所述底部支撑结构(3)与顶部盖板结构(4)之间通过密封条密封。
3.根据权利要求1所述一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：所述的吸气结构(1)包括吸气孔带(11)和吸气通道(12)；所述的吸气孔带(11)与工作台(52)后侧边缘之间存在间隙；所述的注气结构(2)包括注气孔带(21)和注气通道(22)；所述的注气孔带(21)与放置在工作台(52)上的基片(6)之间存在间隙。
4.根据权利要求3所述一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：所述的吸气结构(1)为C形前后对称结构，吸气孔带(11)固定在底部支撑结构(3)的前内壁和后内壁上，吸气通道(12)固定在底部支撑结构(3)的左内壁上。
5.根据权利要求3所述一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：所述的吸气孔带(
6.根据权利要求3所述一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：所述的吸气孔带(11)和注气孔带(21)内通过流体的流速均在0-5m3/s范围内。
7.根据权利要求3所述一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：所述的吸气孔带(11)与工作台(52)之间的间隙H1不大于工作台(52)宽度的0.1倍，注气孔带(21)的宽度W2不大于注气孔带(21)与工作台(52)之间的间隙H2的5倍。
8.根据权利要求3所述一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：所述的吸气孔带(11)与工作台(52)之间的距离H1不大于工作台(52)宽度的0.5倍，注气孔带(21)的宽度W2不大于密封腔室高度的0.8倍。
9.根据权利要求1所述一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：整个装置为前后对称结构。
...【技术特征摘要】
1.一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：包括底部支撑结构(3)、吸气结构(1)、注气结构(2)和顶部盖板结构(4)；
2.根据权利要求1所述一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：所述底部支撑结构(3)与顶部盖板结构(4)之间的一侧通过铰接方式连接，另一侧通过卡扣卡紧方式固定；所述底部支撑结构(3)与顶部盖板结构(4)之间通过密封条密封。
3.根据权利要求1所述一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：所述的吸气结构(1)包括吸气孔带(11)和吸气通道(12)；所述的吸气孔带(11)与工作台(52)后侧边缘之间存在间隙；所述的注气结构(2)包括注气孔带(21)和注气通道(22)；所述的注气孔带(21)与放置在工作台(52)上的基片(6)之间存在间隙。
4.根据权利要求3所述一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在于：所述的吸气结构(1)为c形前后对称结构，吸气孔带(11)固定在底部支撑结构(3)的前内壁和后内壁上，吸气通道(12)固定在底部支撑结构(3)的左内壁上。
5.根据权利要求3所述一种刮刀涂布气氛调节装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫英，何涛，周平，李禹泽，刘秋雨，李承航，方子铿，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：
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