一种基于氮化镓微流控芯片的pH值检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基于氮化镓微流控芯片的pH值检测装置，属于分析检测技术领域。本发明专利技术构建包含本征GaN层、本征AlGaN层的氮化镓微流控芯片，通过设置电极和构造微通道，利用将待测物的化学信号直接转变为电信号的方式来检测pH值，而且其检测灵敏度不会因微通道尺寸的小型化而被降低。采用凹槽结构大幅提升了pH传感器的电流灵敏度和响应速度，能实现实时动态检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基于氮化镓微流控芯片的ph值检测装置，属于分析检测。

技术介绍

1、微流控芯片也称为芯片实验室，是微全分析系统的核心，它是以分析化学作为基础，依托于微机电加工技术(mems)，将微米级流体通道、反应器等集成在几个平方厘米大小的芯片上的生化实验室其主要特征是由微管道组成网络，可控流体贯穿整个体系。样品从预处理到反应、分类、检测的整体小型化、一体化、自动化和便携化，使原先需要在一个实验室内才能完成的工作，现在仅仅只需在一张芯片上就可以完成，不但大大地降低了生物样品和试剂的消耗，大大地降低了成本，而且成十倍或百倍地提高了分析速度，微流控芯片为实现实验室的家庭化提供了可能。

2、由于微流控芯片在生物、化学、医学等领域的巨大潜力，已经发展成为一个生物、化学、医学、流体、电子、材料、机械等学科交叉的崭新研究领域。ph的测量与当代工农业、生物工程、环境科学等研究领域关系密切,在各种液体中ph检测的需求尤为显著。然而现有的ph传感器大多还是采用取样的方式,对随时变化的液体的ph检测相对滞后,不能实时反应溶液酸碱性的变化,不能在第一时间控制污染本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于氮化镓微流控芯片的pH值检测装置，其特征在于，包括从下到上依次设置的背板、本征GaN层、本征AlGaN层、微流控通道、盖板，所述本征AlGaN层上并列设有源极、漏极且不设栅极，并在AlGaN层上加工有凹槽结构。

2.根据权利要求1所述的一种基于氮化镓微流控芯片的pH值检测装置，其特征在于，所述源极和所述漏极均为钛、铝、镍、金中的一种或多种组合。

3.根据权利要求1所述的一种基于氮化镓微流控芯片的pH值检测装置，其特征在于，所述本征GaN层的厚度为1～10000nm；所述本征AlGaN层的厚度为2～100nm。

4.如权利要求1所述的一种基于...

【技术特征摘要】

1.一种基于氮化镓微流控芯片的ph值检测装置，其特征在于，包括从下到上依次设置的背板、本征gan层、本征algan层、微流控通道、盖板，所述本征algan层上并列设有源极、漏极且不设栅极，并在algan层上加工有凹槽结构。

2.根据权利要求1所述的一种基于氮化镓微流控芯片的ph值检测装置，其特征在于，所述源极和所述漏极均为钛、铝、镍、金中的一种或多种组合。

3.根据权利要求1所述的一种基于氮化镓微流控芯片的ph值检测装置，其特征在于，所述本征gan层的厚度为1～10000nm；所述本征...

【专利技术属性】
技术研发人员：王霄，郭明，缪璟润，王利强，敖金平，李杨，陈治伟，白利华，赵森，王文倩，
申请(专利权)人：江南大学，
类型：发明
国别省市：