一种具有冷却机构的环形坩埚制造技术

本技术涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种具有冷却机构的环形坩埚。一种具有冷却机构的环形坩埚，包括环形的底座和环形坩埚本体，在所述底座的顶部设有环形的放置槽，所述环形坩埚本体的底部与放置槽配合，在底座的内环中设有固定块，所述固定块通过连接臂与底座的内壁固定连接，在所述连接臂上安装有液压缸，所述液压缸的活塞杆与环形坩埚本体的内壁接触，在放置槽中安装有环绕多圈的冷却管，所述冷却管与环形坩埚本体的底面接触，冷却管的两端分别连通有进水管与出水管。本技术通过在底座的放置槽中设置环绕多圈的冷却管，使环形坩埚本体的底部能够充分与冷却管接触，使得环形坩埚的冷却效果均匀。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜，具体涉及一种具有冷却机构的环形坩埚。

技术介绍

1、真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，真空镀膜的功能是多方面的，这也决定了其应用场合非常丰富，总体来说，真空镀膜的主要功能包括改变被镀件表面物理特性，在薄膜材料上使膜层具有出色的阻隔性能，或提供所需的光学性能。

2、坩埚是真空镀膜技术中必不可少的，它主要用于盛放镀膜材料，通过对镀膜材料高温蒸发达到镀膜的目的，对于不同的镀膜材料加热的温度不同，镀膜过程中需要对坩埚进行降温。而普通坩埚的水冷方式无法保证冷却效果均匀，容易出现空穴现象，最终会影响蒸镀过程进而破坏产品性能。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种具有冷却机构的环形坩埚，解决普通坩埚容易出现空穴现象的问题。

2、为解决上述的技术问题，本技术采用以下技术方案：

3、一种具有冷却机构的环形坩埚，包括环形的底座和环形坩埚本体，在所述底座的顶部设有环形的放置槽，所述环形坩埚本体的底部与放置槽配合，在底座的内环中设有固定块，所述固定块通过连接臂与底座的内壁固定连接，在所述连接臂上安装有液压缸，所述液压缸的活塞杆与环形坩埚本体的内壁接触，在放置槽中安装有环绕多圈的冷却管，所述冷却管与环形坩埚本体的底面接触，冷却管的两端分别连通有进水管与出水管。

4、进一步的技术方案是，在所述放置槽内设有配合块，所述配合块的两侧与放置槽的槽壁接触，配合块的顶面与环形坩埚本体的底面固定连接。

5、更进一步的技术方案是，所述连接臂有四个，在四个连接臂上分别安装有相应的液压缸。

6、更进一步的技术方案是，在所述液压缸的活塞杆上固定连接有弧形的推板，所述推板与环形坩埚本体的内壁配合。

7、更进一步的技术方案是，在所述放置槽中设有升降液压缸，在所述升降液压缸的活塞杆上固定连接有固定板，在所述固定板的顶面上固定连接有多个支撑杆，所述支撑杆的顶端穿过冷却管的间隙后与环形坩埚本体的底面接触。

8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

9、1、本技术通过在底座的放置槽中设置环绕多圈的冷却管，使环形坩埚本体的底部能够充分与冷却管接触，使得环形坩埚的冷却效果均匀，而设置在连接臂上的液压缸会对环形坩埚本体的侧面施加压力，使得环形坩埚本体能够与底座稳定连接。

10、2、本技术通过在放置槽中设置升降液压缸，在需要进行检修工作时，可以通过启动升降液压缸是支撑杆将环形坩埚本体顶起，这样方便工作人员施力搬动环形坩埚本体，可以有效提升检修工作的效率。

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【技术保护点】

1.一种具有冷却机构的环形坩埚，其特征在于：包括环形的底座（1）和环形坩埚本体（2），在所述底座（1）的顶部设有环形的放置槽（3），所述环形坩埚本体（2）的底部与放置槽（3）配合，在底座（1）的内环中设有固定块（4），所述固定块（4）通过连接臂（5）与底座（1）的内壁固定连接，在所述连接臂（5）上安装有液压缸（6），所述液压缸（6）的活塞杆与环形坩埚本体（2）的内壁接触，在放置槽（3）中安装有环绕多圈的冷却管（8），所述冷却管（8）与环形坩埚本体（2）的底面接触，冷却管（8）的两端分别连通有进水管（9）与出水管（10）。

2.根据权利要求1所述的一种具有冷却机构的环形坩埚，其特征在于：在所述放置槽（3）内设有配合块（11），所述配合块（11）的两侧与放置槽（3）的槽壁接触，配合块（11）的顶面与环形坩埚本体（2）的底面固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有冷却机构的环形坩埚，其特征在于：所述连接臂（5）有四个，在四个连接臂（5）上分别安装有相应的液压缸（6）。

4.根据权利要求1所述的一种具有冷却机构的环形坩埚，其特征在于：在所述液压缸（6）的活塞杆上固定连接有弧形的推板（7），所述推板（7）与环形坩埚本体（2）的内壁配合。

5.根据权利要求1所述的一种具有冷却机构的环形坩埚，其特征在于：在所述放置槽（3）中设有升降液压缸（12），在所述升降液压缸（12）的活塞杆上固定连接有固定板（13），在所述固定板（13）的顶面上固定连接有多个支撑杆（14），所述支撑杆（14）的顶端穿过冷却管（8）的间隙后与环形坩埚本体（2）的底面接触。

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【技术特征摘要】

1.一种具有冷却机构的环形坩埚，其特征在于：包括环形的底座（1）和环形坩埚本体（2），在所述底座（1）的顶部设有环形的放置槽（3），所述环形坩埚本体（2）的底部与放置槽（3）配合，在底座（1）的内环中设有固定块（4），所述固定块（4）通过连接臂（5）与底座（1）的内壁固定连接，在所述连接臂（5）上安装有液压缸（6），所述液压缸（6）的活塞杆与环形坩埚本体（2）的内壁接触，在放置槽（3）中安装有环绕多圈的冷却管（8），所述冷却管（8）与环形坩埚本体（2）的底面接触，冷却管（8）的两端分别连通有进水管（9）与出水管（10）。

2.根据权利要求1所述的一种具有冷却机构的环形坩埚，其特征在于：在所述放置槽（3）内设有配合块（11），所述配合块（11）的两侧与放置槽（3）的槽壁接触，配合块（...

【专利技术属性】
技术研发人员：李贤兵，周荣，
申请(专利权)人：成都友臻科技有限公司，
类型：新型
国别省市：