下载一种具有冷却机构的环形坩埚的技术资料

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本技术涉及真空镀膜技术领域,具体涉及一种具有冷却机构的环形坩埚。一种具有冷却机构的环形坩埚,包括环形的底座和环形坩埚本体,在所述底座的顶部设有环形的放置槽,所述环形坩埚本体的底部与放置槽配合,在底座的内环中设有固定块,所述固定块通过连接臂与...
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