【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电学性能测试领域，具体涉及一种电学性能量测治具。
技术介绍
1、在各项显示技术中均会使用阵列基板用于驱动电路，其中有源矩阵驱动技术是目前最成熟的技术，其是在每个像素上设计一个非线性的有源器件，使得每个像素可以被独立控制。
2、tft器件的功能是作为三端子开关用于电路的开断，tft的特性决定了显示面板的优劣，实际生产中具体工艺和结构会影响tft开关器件的特性，并且在经过长期使用后，不同使用状态的tft器件其特性也会有不同的变化，如何能够得到tft器件的变化程度是在设计开发仿真过程中的重要事项，并且通过量测tft器件的特性，可以得知工厂生产工艺的稳定性。
3、tft器件由于其本身尺寸较小，其特性量测通常由在显示面板周边布置的testkey器件进行量测，该器件通过将器件端子引出到扎针pad上，从而实现对tft器件特性的测量。但此种测量方式只能量测tft器件的静态特性，无法测得经过长期使用后的tft器件的特性。因此对于显示面板内部的tft器件的测量是非常有必要的。
4、现有显示面板内部tft器件的测量通常是通过镭射断开连接待测量tft器件的金属走线，用探针戳至金属走线截面，量测显示面板内部的tft器件的电学性能，但该方法对测量手法需求较高，需求不断调整下针位置，下针角度，因此测量时间需求较久，影响产品开发的解析进展。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题，在于提供一种电学性能量测治具，通过在量测探针上设置注射通道和溢流孔，通过微量注射组件驱
2、本技术是这样实现的：
3、一种电学性能量测治具，包括：
4、至少一个探针，所述探针内设置有注射通道，所述注射通道的末端设置有溢流孔；
5、微量注射组件，分别通过一流体传输单元与一探针的注射通道上端连接，所述微量注射组件用于将导电液体通过流体传输单元注射至探针的注射通道，再通过所述溢流孔流出，使探针通过导电液体与被测端子导电连接。
6、进一步地，还包括探针夹持组件，用于夹持所述探针并移动到指定被测端子位置。
7、进一步地，所述探针夹持组件包括三轴移动夹持基座以及显微镜，所述显微镜用于确认探针是否已进入被测端子的凹洞内。
8、进一步地，所述流体传输单元为柔性管。
9、进一步地，所述探针包括针管和针尖，所述针管内为注射通道，所述溢流孔设置于所述针管上，且靠近针尖一端。
10、进一步地，所述注射通道表面设有导电层，所述针管靠近针尖一端设有第一附着层，所述针尖靠近针管一端设有第二附着层，所述第一附着层和第二附着层用于与导电液体形成低表面能界面，便于导电液体顺针尖流下。
11、进一步地，所述导电层的材质为金、铂或铜；所述第一附着层和第二附着层的材质为镓氧化物。
12、进一步地，所述导电液体为镓基导电液体。
13、进一步地，所述微量注射组件为微量注射泵。
14、进一步地，所述微量注射组件包括：步进电机、步进电机控制器、螺旋推进杆、注射针筒以及注射针筒夹持单元，通过所述步进电机控制器控制步进电机驱动螺旋推进杆在注射针筒内移动实现导电液体的微量注射。
15、本技术的优点在于：
16、通过在量测探针上设置注射通道和溢流孔，通过微量注射组件驱动注入导电液体，使探针通过导电液体与被测端子导电连接，无需调整下针角度，可有效降低对测试手法的要求；可增加量测器件电学性能的测试速度，加快产品开发的解析进度；可有效增加量测探针与待量测端子的金属走线的连接效果，降低接触阻抗对测试结果的影响。
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1.一种电学性能量测治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电学性能量测治具，其特征在于：还包括探针夹持组件，用于夹持所述探针并移动到指定被测端子位置。
3.根据权利要求2所述的电学性能量测治具，其特征在于：所述探针夹持组件包括三轴移动夹持基座以及显微镜，所述显微镜用于确认探针是否已进入被测端子的凹洞内。
4.根据权利要求1所述的电学性能量测治具，其特征在于：所述流体传输单元为柔性管。
5.根据权利要求1所述的电学性能量测治具，其特征在于：所述探针包括针管和针尖，所述针管内为注射通道，所述溢流孔设置于所述针管上，且靠近针尖一端。
6.根据权利要求5所述的电学性能量测治具，其特征在于：所述注射通道表面设有导电层，所述针管靠近针尖一端设有第一附着层，所述针尖靠近针管一端设有第二附着层，所述第一附着层和第二附着层用于与导电液体形成低表面能界面，便于导电液体顺针尖流下。
7.根据权利要求6所述的电学性能量测治具，其特征在于：所述导电层的材质为金、铂或铜；所述第一附着层和第二附着层的材质为镓氧化物。
<...【技术特征摘要】
1.一种电学性能量测治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电学性能量测治具，其特征在于：还包括探针夹持组件，用于夹持所述探针并移动到指定被测端子位置。
3.根据权利要求2所述的电学性能量测治具，其特征在于：所述探针夹持组件包括三轴移动夹持基座以及显微镜，所述显微镜用于确认探针是否已进入被测端子的凹洞内。
4.根据权利要求1所述的电学性能量测治具，其特征在于：所述流体传输单元为柔性管。
5.根据权利要求1所述的电学性能量测治具，其特征在于：所述探针包括针管和针尖，所述针管内为注射通道，所述溢流孔设置于所述针管上，且靠近针尖一端。
6.根据权利要求5所述的电学性能量测治具，其特征在于：所述注射通道表面设有导电层，所述针管靠近针尖一端设有第...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩正宇，
申请(专利权)人：华映科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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