【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜机辅助设备,具体为一种真空镀膜机加热装置。
技术介绍
1、镀膜装置是一种用来制造薄膜的装置,在如今的社会情况下,真空镀膜机为一种较为常见的镀膜装置,它一般通过等离子技术来实现在真空调节下,制备具有高纯度的金属膜和化合物膜,镀膜加热装置用来加热膜材来使之发生汽化蒸发,目前的加热的手段主要为电弧加热、电子束加热、感应加热、电阻加热等等,目前随着生产力的不断进步,镀膜装置也就开始需求一种更为方便高效的加热装置。
2、现有技术在使用的过程中还存在以下缺陷:
3、1、现有技术中的镀膜装置的加热装置,在进行加热后的膜材被镀膜源冲击镀膜的效率较低,加热使得膜材能有效的汽化蒸发,但是镀膜源的冲击面积较小,使得加热框架表面的汽化膜材不能很快的达到待加工件的表面,从而使得加热之后的膜材附着效果不好;
4、2、现有技术中的待镀膜物件的摆放盘较为单一,不适合对待镀膜物件进行多量的摆放,当待镀膜件数量较多且种类繁复的情况时,普通的镀膜置物平台不能满足于多种需求,且无法有效的接收来自加热框架的汽化膜材,对镀膜的效率
...【技术保护点】
1.一种真空镀膜机加热装置,包括镀膜装置(1),其特征在于:所述镀膜装置(1)内部设置有真空腔(2),所述真空腔(2)底部安装有固定座(3),所述固定座(3)上端安装有转杆(18),所述转杆(18)上安装有第一固定安装块(17)和第二固定安装块(11),所述第一固定安装块(17)和第二固定安装块(11)上安装有安装板(16),所述安装板(16)两侧下端安装有固定挂钩(12),所述第一固定安装块(17)和第二固定安装块(11)中间安装有框架(13),所述框架(13)两侧设置有圆形开孔(15),所述框架(13)底部设置有置物底座(14),所述真空腔(2)两侧设置有安装杆(
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机加热装置,包括镀膜装置(1),其特征在于:所述镀膜装置(1)内部设置有真空腔(2),所述真空腔(2)底部安装有固定座(3),所述固定座(3)上端安装有转杆(18),所述转杆(18)上安装有第一固定安装块(17)和第二固定安装块(11),所述第一固定安装块(17)和第二固定安装块(11)上安装有安装板(16),所述安装板(16)两侧下端安装有固定挂钩(12),所述第一固定安装块(17)和第二固定安装块(11)中间安装有框架(13),所述框架(13)两侧设置有圆形开孔(15),所述框架(13)底部设置有置物底座(14),所述真空腔(2)两侧设置有安装杆(19),所述安装杆(19)内部安装有转轴杆(6),所述转轴杆(6)上端连接有第二电机(21),所述转轴杆(6)上安装有滑块(20),所述滑块(20)一侧安装有镀膜源(22),所述镀膜源(22)与转杆(18)中间安装有加热框架(7),所述加热框架(7)中间安装有...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙莎莎,
申请(专利权)人:苏州美芝恩电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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