磁感测装置和磁感测方法制造方法及图纸

本申请提供一种磁感测装置和磁感测方法，所述磁感测装置包括：基板，具有支撑表面，其上沿运动方向连续排布配置有第一感测区域、第三感测区域、第二感测区域，所述第一感测区域、所述第二感测区域、所述第三感测区域在所述运动方向上分别具有第一中线、第二中线、第三中线，所述第一中线、第二中线相对于所述第三中线对称；所述第一感测区域、所述第二感测区域共同用于输出第一输出信号，所述第三感测区域用于输出第二输出信号，所述第一输出信号、所述第二输出信号的相位差为90度，共同用于确定所述相对运动的运动距离或速度或角度和运动方向。本申请磁感测装置和磁感测方法，无论是在低强度被测磁场还是高强度被测磁场下，均能输出准确结果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及传感器，尤其涉及一种磁感测装置和磁感测方法。

技术介绍

1、量测一物体的旋转角度，如一齿轮或一机械装置的旋转轴；或量测一移动物件的位置与移动信息如阀门的开关行程等在工业、汽车、甚至商用领域均扮演重要的角色，该量测可实现各种系统的监测与报警，如空转滑动等、各种自动的动作回授控制，如动作或姿态控制、或各种操作的触发，如剎车打滑或安全带警示等。在上述应用领域中，多以磁感测实现各种量测，这是因为磁感测有非接触量测、优异的抗震动与抗油污特性，以及能够提供足够的精准度与反应速度等优点。但研究人员发现，现有的磁感测装置在一般较低的磁场强度下，比如50g以下，可以准确的输出结果；但在磁场强度较高的场景，比如50g以上，输出结果会异常，尤其是在700g、1000g以上，输出结果基本会出错。而在实际应用中，往往也是有很多被测场景的磁场强度达到600g以上，所以需要也能满足高强度被测磁场场景应用的感测装置。

技术实现思路

1、基于前述的
技术介绍
缺陷，本申请的目的在于提供一种磁感测装置和磁感测方法，在低强度被测磁场和高强度本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种磁感测装置，与一物体沿一运动方向具有相对运动关系，所述物体上具有被测磁场，所述磁感测装置用于对所述相对运动的运动距离或速度或角度和运动方向进行感测，其特征在于，所述磁感测装置包括：

2.如权利要求1所述的磁感测装置，其特征在于，所述第一感测区域、所述第二感测区域、所述第三感测区域均为规则形状规则配置于所述支撑表面，所述第一中线、所述第二中线、所述第三中线分别为所述第一感测区域、所述第二感测区域、所述第三感测区域的中心轴，所述第一感测区域、所述第二感测区域、所述第三感测区域分别相对于所述第一中线、所述第二中线、所述第三中线为对称结构。

3.如权利要求1所述的...

【技术特征摘要】

1.一种磁感测装置，与一物体沿一运动方向具有相对运动关系，所述物体上具有被测磁场，所述磁感测装置用于对所述相对运动的运动距离或速度或角度和运动方向进行感测，其特征在于，所述磁感测装置包括：

2.如权利要求1所述的磁感测装置，其特征在于，所述第一感测区域、所述第二感测区域、所述第三感测区域均为规则形状规则配置于所述支撑表面，所述第一中线、所述第二中线、所述第三中线分别为所述第一感测区域、所述第二感测区域、所述第三感测区域的中心轴，所述第一感测区域、所述第二感测区域、所述第三感测区域分别相对于所述第一中线、所述第二中线、所述第三中线为对称结构。

3.如权利要求1所述的磁感测装置，其特征在于，所述第一感测区域、所述第二感测区域均包括第一感测单元，各所述第一感测单元在所述运动方向上均具有中线，所述第一感测区域的第一感测单元的中线与所述第一感测区域的第一中线一致，所述第二感测区域的第一感测单元的中线与所述第二感测区域的第二中线一致；两个所述第一感测单元对于相同的被测磁场产生的变化数值相等方向相同，两个所述第一感测单元串联成半桥结构构成第一传感器，两个所述第一感测单元之间的连接点输出第一感测信号，所述第一感测信号用于产生所述第一输出信号。

4.如权利要求1所述的磁感测装置，其特征在于，所述第三感测区域包括第一感测单元、第二感测单元，所述第一感测单元、所述第二感测单元在所述运动方向上均具有中线，并均与所述第三感测区域的第三中线一致；所述第一感测单元与所述第二感测单元对于相同的被测磁场产生的变化数值相等方向相反，所述第一感测单元、所述第二感测单元串联成半桥结构构成第三传感器，所述第一感测单元、所述第二感测单元之间的连接点输出第三感测信号，所述第三感测信号用于产生所述第二输出信号。

5.如权利要求1所述的磁感测装置，其特征在于，所述第一感测区域、所述第二感测区域均包括第一感测单元、第二感测单元，各所述第一感测单元、所述第二感测单元在所述运动方向上均具有中线，所述第一感测区域的第一感测单元的中线、与所述第一感测区域的第二感测单元的中线、与所述第一感测区域的第一中线一致，所述第二感测区域的第一感测单元的中线、与所述第二感测区域的第二感测单元的中线、与所述第二感测区域的第二中线一致；两个所述第一感测单元对于相同的被测磁场产生的变化数值相等方向相同，与两个所述第二感测单元对于相同的被测磁场产生的变化数值相等方向相反；所述第一感测区域的第一感测单元、第二感测单元串联成半桥结构构成第一传感器，所述第一感测区域的第一感测单元、第二感测单元之间的连接点输出第一感测信号；所述第二感测区域的第一感测单元、第二感测单元串联成半桥结构构成第二传感器，所述第二感测区域的第一感测单元、第二感测单元之间的连接点输出第二感测信号；所述第一感测信号、第二感测信号用于产生所述第一输出信号。

6.如权利要求1所述的磁感测装置，其特征在于，所述第三感测区域包括第一感测单元、第二感测单元、第三感测单元、第四感测单元，所述第一感测单元、所述第二感测单元、所述第三感测单元、所述第四感测单元在所述运动方向上均具有中线且均与所述第三感测区域的第三中线一致；所述第一感测单元、第三感测单元对于相同的被测磁场产生的变化数值相等方向相同，与所述第二感测单元、第四感测单元对于相同的被测磁场产生的变化数值相等方向相反；所述第一感测单元、所述第二感测单元串联成半桥结构，两者之间的连接点输出第三感测信号；所述第三感测单元、第四感测单元串联成半桥结构，两者之间的连接点输出第四感测信号；两个所述半桥结构连接成全桥结构构成第三传感器，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁辅德，盛云，赵佳，叶健，赵鹏，张富，郭艳霞，姜洪俊，罗伯特·弗朗茨·威廉·阿克塞尔·迈耶，蒂尔曼·克劳斯，拉尔夫·安德烈斯，马里奥·特洛特，
申请(专利权)人：苏州纳芯微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：