【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及等离子，具体而言，涉及一种辉光微放电装置。
技术介绍
1、通过在气体两端施加电场作为激励，气体分子会产生放电现象，产生数量可观的等离子场，同时，这一等离子场会发出辉光，称为辉光微放电现象，辉光微放电的过程实质是等离子体中的电子和离子运动的过程，辉光微放电的应用较为广泛，例如通过辉光微放电的发光效应可以应用于制造霓虹灯、荧光灯等光源。
2、现有技术中的辉光微放电装置，需要辅助放电作为额外的电离源来维持稳定放电，和/或者，需要真空系统来提供放电环境。
3、以上现有技术中的辉光微放电装置，其放电条件苛刻，成本较高，且放电不够稳定。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的问题是现有的辉光微放电装置放电条件苛刻，成本较高且放电不够稳定。
2、为解决上述问题，本专利技术提供了一种辉光微放电装置，包括：
3、电源组件；
4、阳极和阴极，分别为线状结构和平板状结构，且所述阳极与所述电源组件的正极相连，所述阴极与所述电源组件的负极相连，所述阳极和阴极分别为对应设置的线状结构和平板状结构且二者之间设有间距，以使得所述阳极和所述阴极之间形成放电距离，所述放电距离小于待电离气体的最小击穿电压对应的放电间隙，所述待电离气体被击穿时的工作压力小于或者等于大气压。
5、可选地，所述阳极和阴极之间的辉光微放电在放电室或者大气中进行。
6、可选地，所述阳极具有放电尖端，所述放电尖端的端部横向尺寸小于或者等于稳态辉光微放
7、可选地，所述阳极和所述阴极之间呈异面正交布设。
8、可选地，还包括间距调节组件，所述间距调节组件包括直线调节机构，所述直线调节机构用于调节所述阳极相对所述阴极的位置，以调节所述放电距离。
9、可选地，还包括电压反馈组件，所述电压反馈组件用于测量并反馈所述电源组件的输出电压。
10、可选地，还包括控制器，所述控制器用于控制所述间距调节组件对所述放电距离进行调节，以及获取所述电压反馈组件反馈的所述输出电压，以使调节过程中的所述输出电压和所述放电距离的导数小于或者等于预设值。
11、可选地，所述间距调节组件包括调节电机和微调螺钉，所述微调螺钉的一端与所述阳极固定，另一端与所述调节电机的输出端连接。
12、可选地，所述电压反馈组件包括电压表，所述电压表并联在所述电源组件的正极和负极之间。
13、可选地，所述控制器分别与所述调节电机和所述电压表电性连接。
14、相对于现有技术，本专利技术提供的辉光微放电装置，通过线状结构的阳极和平板状结构的阳极之间的距离l1被选择为小于对应于帕邢曲线最小电压值对应的放电间隙lmin，在改变外部条件的情况下，保持等离子体稳定稳态放电的条件为：在lmin>l1的情况下，放电电压降具有大致相同的值，受阴极和阳极之间放电距离大小改变的影响较小，结合放电距离小于最小击穿电压对应的放电间隙这一条件，在帕邢曲线的最小值附近实现稳定的辉光微放电，放电在小于或者等于大气压的工作压力下进行，也不需要外部注入电子，因为放电也无需使用外部电离源或辅助放电，也即在放电条件较为简单且成本低的条件下即可实现稳定的辉光微放电。
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1.一种辉光微放电装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的辉光微放电装置，其特征在于，所述阳极(5)和阴极(4)之间的辉光微放电在放电室(1)或者大气中进行。
3.根据权利要求2所述的辉光微放电装置，其特征在于，所述阳极(5)具有放电尖端，所述放电尖端的端部横向尺寸小于或者等于辉光微放电下给定电流密度对应的横向尺寸。
4.根据权利要求1-3任一所述的辉光微放电装置，其特征在于，所述阳极(5)和所述阴极(4)之间呈异面正交布设。
5.根据权利要求1所述的辉光微放电装置，其特征在于，还包括间距调节组件，所述间距调节组件包括直线调节机构，所述直线调节机构用于调节所述阳极(5)相对所述阴极(4)的位置，以调节所述放电距离。
6.根据权利要求5所述的辉光微放电装置，其特征在于，还包括电压反馈组件，所述电压反馈组件用于测量并反馈所述电源组件的输出电压。
7.根据权利要求6所述的辉光微放电装置，其特征在于，还包括控制器(8)，所述控制器(8)用于控制所述间距调节组件对所述放电距离进行调节，以及获取所述电压反馈组件
8.根据权利要求5或6或7所述的辉光微放电装置，其特征在于，所述间距调节组件包括调节电机(6)和微调螺钉(9)，所述微调螺钉(9)的一端与所述阳极(5)固定，另一端与所述调节电机(6)的输出端连接。
9.根据权利要求8所述的辉光微放电装置，其特征在于，所述电压反馈组件包括电压表(7)，所述电压表(7)并联在所述电源组件的正极和负极之间。
10.根据权利要求9所述的辉光微放电装置，其特征在于，所述控制器(8)分别与所述调节电机(6)和所述电压表(7)电性连接。
...【技术特征摘要】
1.一种辉光微放电装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的辉光微放电装置，其特征在于，所述阳极(5)和阴极(4)之间的辉光微放电在放电室(1)或者大气中进行。
3.根据权利要求2所述的辉光微放电装置，其特征在于，所述阳极(5)具有放电尖端，所述放电尖端的端部横向尺寸小于或者等于辉光微放电下给定电流密度对应的横向尺寸。
4.根据权利要求1-3任一所述的辉光微放电装置，其特征在于，所述阳极(5)和所述阴极(4)之间呈异面正交布设。
5.根据权利要求1所述的辉光微放电装置，其特征在于，还包括间距调节组件，所述间距调节组件包括直线调节机构，所述直线调节机构用于调节所述阳极(5)相对所述阴极(4)的位置，以调节所述放电距离。
6.根据权利要求5所述的辉光微放电装置，其特征在于，还包括电压反馈组件，所述电压反馈组件用于测量并...
【专利技术属性】
技术研发人员：周晨，袁承勋，姚静锋，王莹，周忠祥，阿斯塔菲耶夫·阿勒科山德，弗拉基米尔·米哈伊洛维奇·巴库列夫，库德里亚夫谢夫·安纳托利，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
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