【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种液封泵的运转方法、膜脱气装置、纯水制造系统以及纯水制造方法。
技术介绍
1、在构成纯水制造装置等的一部分的膜脱气装置中，在膜脱气装置的气相侧产生冷凝水。该冷凝水会成为引起膜脱气装置的状况不佳的主要原因。由于该冷凝水，例如有时会导致真空泵的运转不良，或者脱气时气体所透过的膜面积减少，从而引起性能降低。
2、为了解决这样的问题，特开2000-185203号公报记载了一种膜脱气装置的运转方法，该运转方法在停止通水脱气工序后，通过向中空纤维膜内部供给惰性气体来消除真空，从而使中空纤维膜维持正常状态。
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、但是，在吸引膜脱气装置等的液封真空泵中，具有通过循环流路使密封液循环的结构。
3、在此，例如在停止膜脱气装置后重新驱动(起动)等的情况下，有时液体会残留在从膜脱气装置到液封真空泵的真空配管中，导致真空度变低，并且即使是在液封真空泵的内部，真空度也会变低。或者，在膜脱气装置停止后，真空配管内也可能恢复到常压的情况。
4、液封真空泵的内部以规定的真空状态运转，排出密封液需要一定程度以上的真空度。因此，若如上所述真空度较低，则无法使密封液在循环流路中循环，从而无法驱动液封真空泵。
5、然而，没有一种技术在即使真空配管的真空度处于变低的状态下，也能够驱动液封真空泵。例如，在上述的特开2000-185203号公报中，没有考虑下述问题：由于在膜脱气装置的气相侧产生冷凝水，真空配管的真空
6、另外，为了使液封真空泵进行适当的驱动，液封真空泵内的密封液量必须适当。例如，如果液封真空泵内充满密封液或密封液不足，则液封真空泵无法驱动而停止。
7、本公开的目的在于得到一种液封真空泵的运转方法、膜脱气装置、具备该膜脱气装置的纯水制造系统以及使用该纯水制造系统的纯水制造方法，所述液封真空泵即使在真空配管的真空度处于变低的状态下也能够驱动液封真空泵，所述膜脱气装置由于具备这样的液封真空泵，因此即使在真空配管的真空度处于变低的状态下，也能够可靠地从被处理液中脱气。
8、解决课题的手段
9、在第一方式的液封真空泵的运转方法中，从与液封真空泵连接的真空配管排出液体；对密封液进行加压供给，使所述液封真空泵中充满规定量，并且驱动所述液封真空泵，直至所述真空配管的压力减小到规定压力；以及当所述真空配管的压力减小至规定压力时，停止向所述液封真空泵供给经加压后的所述密封液，使所述密封液从所述液封真空泵在循环流路中循环，维持所述密封液在所述液封真空泵中存在规定量的状态。
10、即，在第一方式的液封真空泵的运转方法中，即使在液封真空泵起动等时真空配管中存在液体，也会将该液体排出。因此，能够避免如下的情况发生：真空配管内的液体充满真空泵内，导致液封真空泵成为无法驱动状态。
11、然后，对密封液进行加压供给，使液封真空泵中充满规定量。由此，能够将液封真空泵的密封液量设定为适于驱动液封真空泵的量。另外，由于在对密封液进行加压供给的状态下驱动液封真空泵，直至真空配管的压力减小到规定压力，因此液封真空泵能够持续运转而不会停止，能够使真空配管的真空度达到规定范围。
12、当真空配管的压力减小到规定压力时，停止向液封真空泵供给密封液。然后，使密封液从液封真空泵在循环流路中循环，维持密封液在液封真空泵中存在规定量的状态。由此，能够利用在循环流路中循环的密封液来维持液封真空泵的运转状态。
13、这样，在第一方式的液封真空泵的运转方法中，即使真空配管的真空度处于变低的状态，也能够驱动液封真空泵。
14、在第二方式中，通过向所述真空配管供给加压气体来将所述液体从所述真空配管排出。
15、由于向真空配管供给加压气体，因此能够容易地从真空配管排出液体。
16、在第三方式中，通过向所述真空配管供给加压气体，将所述真空配管内的所述液体送向所述液封真空泵。
17、不需要将真空配管的液体向液封真空泵以外的构件排出的工序，能够容易地从真空配管排出液体。
18、在第四方式中，从所述循环流路的途中向所述液封真空泵供给经加压后的所述密封液。
19、由于使用循环流路作为向液封真空泵供给经加压后的密封液的流路的一部分，因此能够容易地供给密封液。
20、在第五方式中，从所述循环流路途中的气液分离槽与所述液封真空泵之间的所述循环流路导入经加压后的所述密封液。
21、因此，能够在不将经加压后的密封液送向气液分离槽的情况下，向液封真空泵供给经加压后的密封液。
22、在第六方式中，通过所述循环流路，将所述液封真空泵的过剩的密封液排出。
23、由于液封真空泵的过剩的密封液能够通过循环流路循环，因此与直接从液封真空泵将液封真空泵的排液废弃的结构相比，不会浪费密封液。
24、在第七方式的膜脱气装置中，具有：液封真空泵；膜脱气构件，所述膜脱气构件的内部是通过与所述液封真空泵连接的真空配管吸引的；排出单元，所述排出单元从所述真空配管排出液体；循环流路，所述循环流路与所述液封真空泵连接，并使密封液循环；以及供给构件，所述供给构件向所述液封真空泵供给经加压后的所述密封液。
25、在该膜脱气装置中，由于具有排出单元，因此即使在液封真空泵起动等时真空配管中存在液体，也会通过排出单元将该液体排出，由此能够使真空配管的真空度处于较高状态，使液封真空泵的真空度也处于较高状态。
26、而且，通过供给构件向液封真空泵供给经加压后的密封液，由此能够将液封真空泵的密封液量设定为适于驱动的量。通过驱动液封真空泵直至真空配管的压力达到规定压力，能够使真空配管的真空度处于规定范围内。
27、当真空配管的压力达到规定压力时，停止通过供给构件向液封真空泵供给密封液，使密封液在循环流路中循环。即，能够利用在循环流路中循环的密封液来维持液封真空泵的运转状态，能够通过膜脱气构件进行脱气。即使因膜脱气装置的停止导致真空配管的真空度处于变低的状态，也能够可靠地驱动液封真空泵，并通过膜脱气构件进行脱气。
28、在第八方式的纯水制造系统中，具有：纯水制造装置，所述纯水制造装置从原水中制造除去杂质后的纯水；以及第七方式的膜脱气装置，所述膜脱气装置构成所述纯水制造装置的一部分，并从所述纯水制造途中的处理水或所制造的所述纯水中除去气体。
29、在该纯水制造系统中，由于具有第七方式的膜脱气装置，因此即使因膜脱气装置的停止导致真空配管的真空度处于变低的状态，也能够可靠地驱动液封真空泵，并通过膜脱气构件进行脱气。而且，能够通过膜脱气构件，从纯水制造途中的处理水或制造出的纯水中除去气体。
30、在第九方式的纯水制造方法中，所述纯水制造方法通过纯水制造系统制造纯水，所述纯水制造系统具备：纯水制造装置，所述纯水制造装置从原水中制造除去杂质后的纯水；以及膜本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种液封真空泵的运转方法，其中，
2.根据权利要求1所述的液封真空泵的运转方法，其中，
3.根据权利要求2所述的液封真空泵的运转方法，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的液封真空泵的运转方法，其中，
5.根据权利要求4所述的液封真空泵的运转方法，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的液封真空泵的运转方法，其中，
7.一种膜脱气装置，其中，具有：
8.一种纯水制造系统，其中，具有：
9.一种纯水制造方法，其中，所述纯水制造方法通过纯水制造系统制造纯水，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种液封真空泵的运转方法，其中，
2.根据权利要求1所述的液封真空泵的运转方法，其中，
3.根据权利要求2所述的液封真空泵的运转方法，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的液封真空泵的运转方法，其中，
5.根据权利要求4所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：山本克美，鬼头贵次，佐藤信介，鸟村修平，
申请(专利权)人：野村微科学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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