【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种液封泵的运转方法、膜脱气装置、纯水制造系统以及纯水制造方法。
技术介绍
1、在构成纯水制造装置等的一部分的膜脱气装置中，在膜脱气装置的气相侧产生冷凝水。该冷凝水会成为引起膜脱气装置的状况不佳的主要原因。由于该冷凝水，例如有时会导致真空泵的运转不良，或者脱气时气体所透过的膜面积减少，从而引起性能降低。
2、为了解决这样的问题，特开2000-185203号公报记载了一种膜脱气装置的运转方法，该运转方法在停止通水脱气工序后，通过向中空纤维膜内部供给惰性气体来消除真空，从而使中空纤维膜维持正常状态。
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、但是，在吸引膜脱气装置等的液封真空泵中，具有通过循环流路使密封液循环的结构。
3、在此，例如在停止膜脱气装置后重新驱动(起动)等的情况下，有时液体会残留在从膜脱气装置到液封真空泵的真空配管中，导致真空度变低，并且即使是在液封真空泵的内部，真空度也会变低。或者，在膜脱气装置停止后，真空配管内也可能恢复到常压
【技术保护点】
1.一种液封真空泵的运转方法，其中，
2.根据权利要求1所述的液封真空泵的运转方法，其中，
3.根据权利要求2所述的液封真空泵的运转方法，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的液封真空泵的运转方法，其中，
5.根据权利要求4所述的液封真空泵的运转方法，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的液封真空泵的运转方法，其中，
7.一种膜脱气装置，其中，具有：
8.一种纯水制造系统，其中，具有：
9.一种纯水制造方法，其中，所述纯水制造方法通过纯水制造系统制造纯水，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种液封真空泵的运转方法，其中，
2.根据权利要求1所述的液封真空泵的运转方法，其中，
3.根据权利要求2所述的液封真空泵的运转方法，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的液封真空泵的运转方法，其中，
5.根据权利要求4所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：山本克美，鬼头贵次，佐藤信介，鸟村修平，
申请(专利权)人：野村微科学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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