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液封泵的运转方法、膜脱气装置、纯水制造系统及纯水制造方法制造方法及图纸
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下载液封泵的运转方法、膜脱气装置、纯水制造系统及纯水制造方法的技术资料
文档序号:41365230
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在液封真空泵的运转方法中,从与液封真空泵28连接的真空配管30排出液体;对密封液进行加压供给,使液封真空泵28中充满规定量,并且驱动液封真空泵28,直至真空配管30的压力减小到规定压力;以及当真空配管30的压力减小至规定压力时,停止向液封真...
该专利属于野村微科学股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过野村微科学股份有限公司授权不得商用。
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