基于氧化物薄膜界面调控的非制冷长波红外探测器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种基于氧化物薄膜界面调控的非制冷长波红外探测器及其制备方法，属于光电探测器技术领域。该探测器包括：热释电衬底；形成于热释电衬底表面的第一钝化层；形成于第一钝化层表面的图案化电极层；形成于图案化电极层表面以及图案化电极层的图案化电极之间的电调控层，同时，图案化电极之间的电调控层与第一钝化层表面接触；还包括形成于电调控层表面且包裹电调控层的第二钝化层。本发明专利技术通过氧化物薄膜起到了钝化界面的效果，同时将器件封装起来，可提高器件的稳定性；此外，热释电衬底与电调控层之间的氧化物可以有效减少两者间的接触面积且不影响载流子输运，从而减少非辐射复合，有利于实现热释电衬底高效率调制电调控层的沟道电导。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光电探测器，涉及一种基于氧化物薄膜界面调控的非制冷长波红外探测器及其制备方法。

技术介绍

1、红外探测技术被广泛推广应用，在红外探测技术中探测器是核心，其决定了其所配套的探测装备的性能和应用领域。按有无制冷装置红外探测器分为制冷型和非制冷型。其中制冷型红外成像仪器由于制冷系统笨重、机动性差，使得其应用受到限制。非制冷型红外探测器虽然没有制冷型性能高，但其不需要制冷装置，具有性能适中、体积小、重量轻、使用方便、功耗低、价格低的特点，在军事与民用领域得到了广泛的应用。

2、非制冷红外探测器主要包括热释电、热电偶、微测辐射计等三种类型，其中热释电器件以成本低和应用广泛最具代表性。热释电探测器是一种利用热释电材料的自发极化强度随温度而变化的效应制成的一种热敏型红外探测器。热释电红外探测器的作用主要是探测接收红外辐射并将其转换为微弱的电流/电压信号。而热释电红外探测器的性能主要由响应速度和响应度表征，在宽波段范围内要获得好的响应度，要求探测器的吸收层对红外线吸收率高，响应速度快就要求吸收层的热容小。

3、目前的热释电红外器件的灵本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于氧化物薄膜界面调控的非制冷长波红外探测器，其特征在于：其包括：

2.根据权利要求1所述的非制冷长波红外探测器，其特征在于：所述第一钝化层(102)和第二钝化层(104)均为氧化物薄膜致密层。

3.根据权利要求2所述的非制冷长波红外探测器，其特征在于：所述氧化物薄膜致密层的材质为氧化铝、氧化钛或氧化铪中的一种。

4.一种基于氧化物薄膜界面调控的非制冷长波红外探测器的制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：步骤S1中，对热释电衬底进行超声清洗包括：在超声机中，依次使用洗洁精：去离子水...

【技术特征摘要】

1.一种基于氧化物薄膜界面调控的非制冷长波红外探测器，其特征在于：其包括：

2.根据权利要求1所述的非制冷长波红外探测器，其特征在于：所述第一钝化层(102)和第二钝化层(104)均为氧化物薄膜致密层。

3.根据权利要求2所述的非制冷长波红外探测器，其特征在于：所述氧化物薄膜致密层的材质为氧化铝、氧化钛或氧化铪中的一种。

4.一种基于氧化物薄膜界面调控的非制冷长波红外探测器的制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：步骤s1中，对热释电衬底进行超声清洗包括：在超声机中，依次使...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭阳，杨旗，翁上进，杨俊，张永娜，史浩飞，魏兴战，
申请(专利权)人：重庆邮电大学，
类型：发明
国别省市：