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基于氧化物薄膜界面调控的非制冷长波红外探测器及其制备方法技术
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下载基于氧化物薄膜界面调控的非制冷长波红外探测器及其制备方法的技术资料
文档序号:41362811
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本发明涉及一种基于氧化物薄膜界面调控的非制冷长波红外探测器及其制备方法,属于光电探测器技术领域。该探测器包括:热释电衬底;形成于热释电衬底表面的第一钝化层;形成于第一钝化层表面的图案化电极层;形成于图案化电极层表面以及图案化电极层的图案化电...
该专利属于重庆邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆邮电大学授权不得商用。
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